[發(fā)明專利]顯影控制系統(tǒng)及顯影控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810552640.1
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108803258B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發(fā)明（設計）人: 陳仲仁;蔡在秉;張晉源;張波;王輝;李德全
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

1.一種顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：

第一管道，連接顯影槽，用于傳輸顯影原液至所述顯影槽；

第二管道，連接所述顯影槽，用于傳輸顯影循環(huán)液至所述顯影槽；

所述顯影槽，用于容納所述顯影原液及所述顯影循環(huán)液構(gòu)成的顯影液；

控制裝置，設置于所述第一管道與所述顯影槽之間以及所述第二管道與所述顯影槽之間，控制所述顯影原液與所述顯影循環(huán)液傳輸至所述顯影槽；

第一調(diào)節(jié)裝置，與所述顯影槽和所述控制裝置連接，所述控制裝置控制所述第一調(diào)節(jié)裝置通過第三管道向所述顯影槽傳輸?shù)谝徽{(diào)節(jié)溶液；其中，所述第一調(diào)節(jié)裝置為光阻調(diào)節(jié)單元，所述第一調(diào)節(jié)溶液為光阻溶液；

其中，所述控制裝置包括控制單元及第一偵測單元，所述第一偵測單元用于偵測所述顯影槽內(nèi)顯影液的堿濃度值并將偵測到的堿濃度值發(fā)送給所述控制單元，所述控制單元通過堿濃度值控制所述顯影液濃度，所述控制單元將接收到的堿濃度值與堿濃度預設值進行比較，在接收到的堿濃度小于所述堿濃度預設值時，所述控制單元控制所述第一管道傳輸所述顯影原液至所述顯影槽，在接收到的堿濃度大于所述堿濃度預設值時，所述控制單元控制所述顯影循環(huán)液傳輸至所述顯影槽；

所述控制裝置還包括第二偵測單元，所述第二偵測單元用于偵測所述顯影槽內(nèi)顯影液的光阻濃度值并將偵測到的光阻濃度值發(fā)送給所述控制單元，所述控制單元將接收到的光阻濃度值與光阻濃度預設值進行比較，在接收到的光阻濃度小于所述光阻濃度預設值時，所述控制單元控制所述光阻調(diào)節(jié)單元傳輸光阻溶液至所述顯影槽，在接收到的光阻濃度大于所述光阻濃度預設值時，所述控制單元控制所述顯影循環(huán)液傳輸至所述顯影槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影控制系統(tǒng)還包括第二調(diào)節(jié)裝置，與所述顯影槽及所述控制裝置連接，所述控制裝置控制所述第二調(diào)節(jié)裝置通過第四管道向所述顯影槽傳輸?shù)诙{(diào)節(jié)溶液。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二調(diào)節(jié)裝置為顯影循環(huán)液調(diào)節(jié)單元，所述第二調(diào)節(jié)溶液為顯影循環(huán)液，在接收到的光阻濃度大于所述光阻濃度預設值時，所述控制單元控制所述第二調(diào)節(jié)裝置傳輸顯影循環(huán)液至所述顯影槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影原液濃度為25％，所述顯影液的濃度為2.38±0.01％。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影控制系統(tǒng)還包括設置在所述顯影槽上方的顯影循環(huán)液收集裝置，所述顯影循環(huán)液收集裝置通過第五管道與所述顯影槽連接，以對所述顯影循環(huán)液進行循環(huán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影控制系統(tǒng)還包括設置在所述顯影槽上的第六管道，所述第六管道通過壓力泵及第一控制閥連接所述顯影槽，以對顯影槽內(nèi)的顯影液進行循環(huán)混液；所述第六管道通過壓力泵及第二控制閥連接所述顯影循環(huán)液收集裝置，用于對所述顯影循環(huán)液收集裝置進行清洗。

7.一種顯影控制方法，其特征在于，包括：

控制裝置控制顯影原液通過第一管道傳輸至顯影槽；

所述控制裝置控制顯影循環(huán)液通過第二管道傳輸至所述顯影槽，所述顯影原液及所述顯影循環(huán)液構(gòu)成顯影液；

所述控制裝置控制第一調(diào)節(jié)裝置通過第三管道向所述顯影槽傳輸?shù)谝徽{(diào)節(jié)溶液；

其中，所述第一調(diào)節(jié)裝置為光阻調(diào)節(jié)單元，所述第一調(diào)節(jié)溶液為光阻溶液；

所述控制裝置包括控制單元及第一偵測單元，所述第一偵測單元用于偵測所述顯影槽內(nèi)顯影液的堿濃度值并將偵測到的堿濃度值發(fā)送給所述控制單元，所述控制單元通過堿濃度值控制所述顯影液濃度，所述控制單元將接收到的堿濃度值與堿濃度預設值進行比較，在接收到的堿濃度小于所述堿濃度預設值時，所述控制單元控制所述第一管道傳輸所述顯影原液至所述顯影槽，在接收到的堿濃度大于所述堿濃度預設值時，所述控制單元控制所述顯影循環(huán)液傳輸至所述顯影槽；

所述控制裝置還包括第二偵測單元，所述第二偵測單元用于偵測所述顯影槽內(nèi)顯影液的光阻濃度值并將偵測到的光阻濃度值發(fā)送給所述控制單元，所述控制單元將接收到的光阻濃度值與光阻濃度預設值進行比較，在接收到的光阻濃度小于所述光阻濃度預設值時，所述控制單元控制所述光阻調(diào)節(jié)單元傳輸光阻溶液至所述顯影槽，在接收到的光阻濃度大于所述光阻濃度預設值時，所述控制單元控制所述顯影循環(huán)液傳輸至所述顯影槽。