[發(fā)明專利]一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810552362.X
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108839274B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張偉;孫瑞祥
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州續(xù)笙新能源科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 董旭東

1.一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，所述切片機(jī)包括放線輪和收線輪，放線輪和收線輪之間設(shè)有第一主輥和第二主輥，放線輪放出的金剛線依次繞過第一主輥、第二主輥后收卷于收線輪上，金剛線在第一主輥和第二主輥上卷繞成線網(wǎng)，線網(wǎng)上方設(shè)有可升降的晶托，晶托上固定有多晶硅棒，其特征在于，所述處理方法包括如下步驟：

(1)切片機(jī)停機(jī)：切片機(jī)停止走線，晶托上升使得多晶硅棒與線網(wǎng)分離；

(2)重新布線：找出斷線點，將金剛線斷開的兩端連接起來形成線頭，切片機(jī)檢測出放線輪上卷繞的線圈長度L、收線輪上卷繞的線圈長度M，如果L≥M，放線輪上剩余的線量較多，放線輪向收線輪放線，直至線頭移動到收線輪上；如果L＜M，收線輪上剩余的線量較多，收線輪向放線輪放線，直至線頭移動到放線輪上；

(3)計算放線輪的進(jìn)回線狀態(tài)X：切片機(jī)檢測出斷線時晶棒已被切割的深度h，已被切割的深度h等于多晶硅棒下降的距離，并檢測出晶棒從已被切割的深度h到完成切割放線輪上還需要卷繞的線圈長度為K，計算放線輪的進(jìn)回線狀態(tài)X＝需要卷繞的線圈長度K-放線輪上卷繞的線圈長度L；

(4)根據(jù)切割工藝表和晶棒已被切割的深度h，讀出切割工藝進(jìn)行到第n步，計算理想切割工藝下切割到第n步時，放線輪的放出的線量為N；

(5)計算放線輪的進(jìn)回線線量N-X；

(6)定義由無線頭的線輪向有線頭的線輪進(jìn)線為正轉(zhuǎn)放線、由有線頭的線輪向無線頭的線輪進(jìn)線為反轉(zhuǎn)回線，當(dāng)N-X≥200m時，先執(zhí)行步驟一：正轉(zhuǎn)放線(N-X)+50m，反轉(zhuǎn)回線(N-X)+30m；再執(zhí)行步驟二：如果X＞110m，正轉(zhuǎn)放線(N-X)+190m，反轉(zhuǎn)回線(N-X)+160m，最后執(zhí)行步驟三：當(dāng)X＞250m，正轉(zhuǎn)放線(N-X)+300m，反轉(zhuǎn)回線(N-X)+280m；當(dāng)X≤250m時，正轉(zhuǎn)放線N-20m，反轉(zhuǎn)回線N-40m；當(dāng)N-X＜200m時，先執(zhí)行步驟一：正轉(zhuǎn)放線180m，反轉(zhuǎn)回線160m；再執(zhí)行步驟二：正轉(zhuǎn)放線380m，反轉(zhuǎn)回線360m；再執(zhí)行步驟三：正轉(zhuǎn)放線480m,反轉(zhuǎn)回線460m，最后執(zhí)行步驟四：正轉(zhuǎn)放線520m，反轉(zhuǎn)回線500m。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述步驟(2)中，當(dāng)斷線點位于線網(wǎng)上時，先將金剛線斷開的一端收回卷繞到對應(yīng)線輪上，再將收卷的金鋼線端部與線網(wǎng)上的金剛線端部連接起來，最后移動線頭；當(dāng)斷線點不位于線網(wǎng)上時，直接移動線頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述收回卷繞的金剛線的總長度少于線網(wǎng)上剩余的金剛線總長度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述步驟(6)中，當(dāng)N-X≥200m時，步驟二循環(huán)執(zhí)行2次，然后步驟三循環(huán)執(zhí)行2次；當(dāng)N-X＜200m時，步驟二循環(huán)執(zhí)行2次，然后步驟三循環(huán)執(zhí)行2次，最后步驟四循環(huán)執(zhí)行2次。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述金剛線的線徑為60～70um。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述步驟(4)中的切割工藝表為：

放線輪放線時，收線輪收線；收線輪放線時，放線輪收線；多晶硅棒下降的總距離大于多晶硅棒在切割方向上的長度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種多晶硅金剛線切片機(jī)斷線處理方法，其特征在于，所述方法適用于斷線時，晶棒切割深度為0～50mm的情況。