[發明專利]一種氯氣廢氣處理和氯氣泄漏緊急處理的兩用中和塔

在審

• 申請號: 201810550162.0
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108465350A
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 周長忠
• 申請（專利權）人: 成都奕州環保科技有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/78;B01D53/68;B01D53/02
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

本發明公開了一種氯氣廢氣處理和氯氣泄漏緊急處理的兩用中和塔，其包括水塔，水塔內部中間位置安裝有透氣耐酸的第一緩沖層，水塔頂部裝有第一噴頭，第一噴頭連接水泵，水泵進口是水入口；水塔底部連接廢液池和廢氣入口，其頂部連接抽風機；水塔和廢氣入口之間安裝有第二截止閥；該中和塔還包括和堿液塔，其內部中間位置安裝有透氣耐酸耐堿的第二緩沖層，堿液塔頂部裝有第二噴頭，第二噴頭連接堿液泵，堿液泵連接堿液池；堿液塔底部連接廢液池，其頂部連接水塔的第一緩沖層下方；堿液塔和水塔之間安裝有第一截止閥，堿液塔的第二緩沖層下方連接廢氣入口。本發明的有益效果是可以處理日常運行產生的尾氣，也可用于緊急泄漏處理。

技術領域

本發明涉及廢氣處理裝置領域，尤其是涉及一種氯氣廢氣處理和氯氣泄漏緊急處理的兩用中和塔。

背景技術

氯氣是半導體工業常用的特氣，主要用于蝕刻半導體材料。但是氯氣的性質是劇毒、腐蝕性和氧化性，所以氯氣尾氣的處理也是非常嚴格的。目前氯氣尾氣處理主要的吸附式的藥劑，藥劑需要根據顏色判斷是否變質，目前藥劑進口居多，價格昂貴。另外氯氣的應急泄漏又是另一個系統，通過抽風機抽出廢氣來噴灑堿液中和。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提出了一種氯氣廢氣處理和氯氣泄漏緊急處理的兩用中和塔。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：一種氯氣廢氣處理和氯氣泄漏緊急處理的兩用中和塔，其包括水塔，水塔內部中間位置安裝有透氣耐酸的第一緩沖層，水塔頂部裝有第一噴頭，第一噴頭連接水泵，水泵進口是水入口；水塔底部連接廢液池和廢氣入口，水塔頂部連接抽風機；水塔和廢氣入口之間安裝有第二截止閥；該中和塔還包括和堿液塔，堿液塔內部中間位置安裝有透氣耐酸耐堿的第二緩沖層，堿液塔頂部裝有第二噴頭，第二噴頭連接堿液泵，堿液泵連接堿液池；堿液塔底部連接廢液池，堿液塔頂部連接水塔的第一緩沖層下方；堿液塔和水塔之間安裝有第一截止閥，堿液塔的第二緩沖層下方連接廢氣入口。

進一步地，所述抽風機出口還安裝有吸附式的尾氣處理裝置。

進一步地，所述尾氣處理裝置后端還設有氯氣偵測器。

進一步地，所述堿液塔和廢氣入口之間安裝第三截止閥。

進一步地，所述廢液池盛有NaOH溶液，廢液池是封閉式的。

進一步地，所述第一噴頭和第二噴頭是霧化噴頭。

進一步地，所述第一截止閥、第二截止閥和第三截止閥是氣動或電動閥。

進一步地，所述第二截止閥打開后聯動關閉第一截止閥和第三截止閥，第二截止閥關閉后聯動打開第一截止閥和第三截止閥。

與現有技術相比，本發明的有益效果在于：該中和塔可以處理日常運行產生的尾氣，也可用于緊急泄漏處理。

附圖說明

圖1為本發明的示意圖；

附圖標記說明：1-堿液塔；2-第二噴頭；3-第一截止閥；4-第一緩沖層；5-水塔；6-第一噴頭；7-尾氣處理裝置；8-抽風機；9-水入口；10-水泵；11-廢氣入口；12-第二截止閥；13-第三截止閥；14-第二緩沖層；15-堿液池；16-堿液泵；17-廢液池。

具體實施方式

為了對本發明的技術特征、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖說明本發明的具體實施方式，但本發明的保護范圍不局限于以下所述。

具體實施例一：