[發明專利]一種污染控制裝置及方法、物鏡系統及光刻機設備

有效

• 申請號: 201810548633.4
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN110554570B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 李先明;郝保同
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種污染控制裝置，其特征在于，包括至少一個風腔，所述風腔具有至少一個入風口，以及至少兩個第一出風口和至少一組第二出風口；

每組所述第二出風口包括兩個相對于所述風腔的中軸線對稱的所述第二出風口；

所述第一出風口設置在所述第二出風口的外圈；

所述第一出風口的出風方向背向所述至少一個風腔的中心，且與所述至少一個風腔的中軸線呈第一夾角；所述第二出風口的出風方向朝向所述至少一個風腔的中心，且與所述中軸線呈第二夾角；所述第一出風口的出風方向與所述第二出風口的出風方向之間的夾角小于90°。

2.根據權利要求1所述的污染控制裝置，其特征在于，所述風腔包括底板端和蓋板端，所述底板端與所述蓋板端相對設置，所述底板端和所述蓋板端均為環狀結構且限定成所述風腔。

3.根據權利要求2所述的一種污染控制裝置，其特征在于，所述風腔為環形風腔。

4.根據權利要求3所述的污染控制裝置，其特征在于，所述第一出風口設置在所述底板端的底板上；所述第二出風口設置在所述環形風腔的內側面上。

5.根據權利要求3所述的污染控制裝置，其特征在于，所述第一出風口與所述第二出風口的數量相等，且所述第一出風口與所述第二出風口分別一一對應設置。

6.根據權利要求3所述的污染控制裝置，其特征在于，所述第二出風口包括平行設置的第一切片和第二切片,所述第一切片和所述第二切片的固定端均與所述環形風腔的內側面連接,沿所述第一切片和所述第二切片的固定端到自由端的方向為所述第二出風口的出風方向。

7.根據權利要求6所述的污染控制裝置，其特征在于，所述蓋板端和所述底板端為兩個獨立的結構裝配而成，所述第二出風口設置在所述底板端和所述蓋板端的連接處；

所述第一切片固定于所述蓋板端，所述第二切片固定于所述底板端；或者，所述第一切片固定于所述底板端，所述第二切片固定于所述蓋板端。

8.根據權利要求2所述的污染控制裝置，其特征在于，所述蓋板端和所述底板端為一體成型。

9.根據權利要求1所述的污染控制裝置，其特征在于，所述第一夾角為0-15°。

10.根據權利要求1所述的污染控制裝置，其特征在于，所述第二夾角為30°-60°。

11.根據權利要求3所述的污染控制裝置，其特征在于，所述環形風腔為圓環形風腔。

12.根據權利要求11所述的污染控制裝置，其特征在于，所述至少兩個第一出風口相對于所述圓環形風腔的圓心軸對稱設置；

所述至少兩個第一出風口位于所述底板端的底板上，且靠近所述圓環形風腔的圓心的一側。

13.根據權利要求11所述的污染控制裝置，其特征在于，每個所述第二出風口與所述圓環形風腔的圓心所組成的圖形沿所述圓環形風腔的圓心軸的投影，被與所述第二出風口對應的所述第一出風口與所述圓環形風腔的圓心所組成的圖形沿所述圓環形風腔的圓心軸的投影完全覆蓋。

14.根據權利要求11所述的污染控制裝置，其特征在于，所述至少兩個第一出風口的長度占所述圓環形風腔的周長的比例為60％-85％；

所述至少一組第二出風口的長度占所述圓環形風腔的周長的比例為55％-80％。

15.根據權利要求2所述的污染控制裝置，其特征在于，所述入風口設置在所述風腔的外側面上。