[發明專利]浸槽及供液系統

有效

• 申請號: 201810548588.2
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108838160B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 施杰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明提供一種浸槽，包括第一主體、第二主體和回流部，第一主體和第二主體相對設置，且第一主體、第二主體和回流部共同圍合形成容腔，回流部設于第一主體和第二主體的底部，容腔用于盛裝清洗液，第一主體內設有第一空腔，第一主體上還設有第一流道，第一空腔與容腔通過第一流道聯通，第一空腔用于儲存清洗液，第一流道用于將第一空腔內的清洗液輸送至容腔，口金的噴嘴浸泡在容腔內的清洗液內，回流部設有閥門，通過控制閥門的開閉以切換浸泡和清洗的狀態，回流部流出的清洗液用于輸送至第一空腔以循環使用。通過上述設置，可加快清洗液流動速度，對口金的噴嘴沖刷更劇烈，提升清洗效果。本發明還提供了一種供液裝置。

技術領域

本發明屬于液晶工藝技術領域，尤其涉及一種浸槽及供液系統。

背景技術

Coater Nozzle即涂布噴嘴，又名口金，用于涂布光阻，是保證液晶工藝中成膜狀況及涂布均一性的重要部件。每次在口金涂布使用完后，口金噴口仍充滿光阻，為避免口金內光阻暴露在空氣中凝固干結，需要將口金噴口浸入充滿清洗液的浸槽內。在下次涂布使用前拿出，進行口金擦拭清潔后使用，避免殘留的清洗液或浸槽內臟污影響口金噴吐光阻而造成破膜或涂布不均等不良。

目前常規的浸槽的結構為頂面開口的U型槽，清洗液通過管道輸送到槽內，口金浸泡在槽內，當清洗時，清洗液從浸槽的頂部溢出，達到清洗液換新的目的。然而，目前的浸槽存在清洗液流動性差，不能很好的清洗口金的噴嘴的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種浸槽，可提升清洗口金效果，口金不需要再進行刮拭，還可輸送走容腔內的光阻等臟污物，減少對清洗液的污染。

為實現本發明的目的，本發明提供了如下的技術方案：

第一方面，本發明提供一種浸槽，用于浸泡和清洗口金的噴嘴，包括第一主體、第二主體和回流部，所述第一主體和所述第二主體相對設置，且所述第一主體、所述第二主體和所述回流部共同圍合形成容腔，所述回流部設于所述第一主體和所述第二主體的底部，所述容腔用于盛裝清洗液，所述第一主體內設有第一空腔，所述第一主體上還設有第一流道，所述第一空腔與所述容腔通過所述第一流道聯通，所述第一空腔用于儲存清洗液，所述第一流道用于將所述第一空腔內的清洗液輸送至所述容腔，所述口金的噴嘴浸泡在所述容腔內的清洗液內，所述回流部設有閥門，通過控制所述閥門的開閉以切換浸泡和清洗的狀態，所述回流部流出的清洗液用于輸送至所述第一空腔以循環使用。

其中，所述第一主體與所述第二主體結構相同，且軸對稱設置，所述第一主體和所述第二主體的底部間隔第一距離，以形成第三流道，所述回流部跨連在所述第一主體和所述第二主體上，以封閉所述容腔的底部，所述第三流道連接至所述回流部。

其中，所述第一主體包括依次相連的底板、外側板、頂板、第一內側板和第二內側板，所述第一內側板和所述第二內側板朝向所述第二主體方向，所述底板遠離所述外側板的一端與所述第二內側板連接，所述第二內側板相對所述底板呈傾斜狀，所述第一內側板與所述第二內側板的夾角大于90°，以使所述容腔呈從頂部向底部縮口的結構。

其中，所述第一流道開設于所述第一內側板上，所述第一流道在所述第一空腔一端的高度低于在所述容腔一端的高度。

其中，所述第一主體內還設有第二空腔，所述第二空腔內設有超聲波器，所述超聲波器用于向所述容腔內發射超聲波，以使所述口金上的臟污物脫落。

其中，所述第一主體還包括橫板，所述橫板連接在所述第一內側板遠離所述頂板的一端和所述外側板之間，所述橫板、所述外側板、所述頂板和所述第一內側板圍合形成所述第一空腔，所述橫板、所述外側板和所述第二內側板圍合形成所述第二空腔。

其中，所述第一主體還包括第三內側板，所述第三內側板連接在所述第二內側板遠離所述第一內側板的一端和所述底板遠離所述外側板的一端之間，所述第三內側板與所述回流部連接。