[發明專利]提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法

有效

• 申請號: 201810547781.4
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108723618B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 李保家;李皇;黃立靜;任乃飛;王軼倫;王永瑛;王天宇
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: B23K26/60
• 分類號: B23K26/60;B23K26/36;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，包括以下步驟：

首先對襯底進行清洗，接著利用磁控濺射鍍膜儀在襯底表面濺射一層一定厚度的金屬；再將得到的金屬/襯底置于激光器的樣品臺上，調整樣品臺位置和相關激光參數，利用EZCAD軟件繪制方塊陣列，方塊陣列中方塊之間的區域構成網格的形狀；使聚焦后的激光束按照繪制的方塊陣列對金屬/襯底進行掃描去除，得到金屬網格型透明電極；其特征在于，

所述方塊陣列為框式系列方塊陣列或外框內線式復合方塊陣列，框式系列方塊陣列中的方塊為由多個大小不同的正方形或矩形嵌套而成；外框內線式復合方塊陣列為多個平行的直線型線條以及包圍在該多個直線型線條一周的正方形或矩形組成；

所述激光束掃描的方法為：

對于框式系列方塊陣列，先對去除區域邊緣輪廓外框去除到預定深度再依次縮小外框對內部逐步去除；

對于外框內線式復合方塊陣列，先利用線式循環掃描去除的方法形成初步的網格形狀，再通過外框掃描去除網格邊緣的不平整部分。

2.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，襯底為玻璃、PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯，polyethylene terephthalate)、TCO/玻璃或TCO/PET，其中TCO材料包括氧化鋅(ZnO)、氧化銦(In₂O₃)、氧化錫(SnO₂)及其摻雜體系。

3.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，襯底的具體清洗過程為：將襯底依次放入去離子水、丙酮、無水乙醇中超聲清洗10min，隨后置于氮氣流中吹干。

4.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，濺射鍍膜的操作過程為：將襯底放置于磁控濺射鍍膜儀的樣品臺上，濺射50～400nm的金屬層，濺射功率為30～60W，濺射壓力為4～15Pa，工作氣體為氬氣。

5.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，所濺射的金屬層材料為Ag、Cu、Au、Pt、Ni、Al中的一種。

6.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，選用超短脈沖激光器，要求其脈沖寬度小于20ns、波長為355～1064nm，激光束經透鏡聚焦后的焦點位于樣品表層以上0.5～1.0mm處，激光能量密度為0.4～0.8J/cm²，掃描速度為15～25mm/s，激光束掃描區域為15mm×15mm。

7.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，激光在各方塊內掃描時，線重疊率為56％～65％。

8.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，所述方塊陣列中方塊的邊長為0.8～1.3mm。

9.根據權利要求1所述的提高金屬網格邊緣質量及其性能的激光掃描去除方法，其特征在于，所述方塊陣列中相鄰方塊的間隔為0.015～0.080mm。