[發明專利]一種連續生產的區熔爐在審
| 申請號： | 201810546640.0 | 申請日： | 2018-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN108396371A | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發明（設計）人： | 李小剛 | 申請（專利權）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B13/00 | 分類號： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省樂山*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保溫室 爐室 上軸 側面設置 產品存儲 懸浮區熔 原料切換 單晶爐 區熔爐 轉盤 夾具 單晶生長工藝 原料切換裝置 一次抽真空 安裝裝置 產品拾取 惰性氣體 爐室頂部 生產效率 下軸頂端 原料晶體 單晶棒 晶體棒 下軸 籽晶 能耗 消耗 生產 | ||
1.一種連續生產的區熔爐，包括爐室(1)，爐室(1)頂部設置有上軸(2)，上軸(2)的末端設置有夾具，爐室(1)底部設置有保溫室(12)，保溫室(12)中設置有下軸(11)，其特征在于：爐室(1)側面設置有原料切換室(19)，原料切換室(19)中設置有用于更換上軸(2)上的原料晶體棒的原料切換裝置；保溫室(12)側面設置有產品存儲室(15)，產品存儲室(15)中設置有用于取走保溫室(12)中產品的產品拾取裝置；所述下軸(11)頂端設置有轉盤Ⅰ(13)，轉盤Ⅰ(13)上設置有多個籽晶安裝裝置。
2.按照權利要求1所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：所述原料切換裝置包括平行設置的轉盤Ⅱ(21)，所述轉盤Ⅱ(21)的側面通過伸縮桿連接有多個夾持裝置Ⅰ(22)。
3.按照權利要求2所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：原料切換室(19)頂部設置有電機Ⅰ(24)，電機Ⅰ(24)通過轉軸Ⅰ(23)與轉盤Ⅱ(21)連接。
4.按照權利要求1所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：所述產品拾取裝置包括平行設置的轉盤Ⅲ(16)，所述轉盤Ⅲ(16)的側面通過伸縮桿連接有多個夾持裝置Ⅱ(14)。
5.按照權利要求4所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：產品存儲室(15)頂部設置有電機Ⅱ(18)，電機Ⅱ(18)通過轉軸Ⅱ(17)與轉盤Ⅲ(16)連接。
6.按照權利要求1所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：所述籽晶安裝裝置以轉盤Ⅰ(13)的軸心為中心對稱設置，所述下軸(11)的軸心與轉盤Ⅰ(13)的軸心之間的距離等于籽晶安裝裝置與轉盤Ⅰ(13)的軸心之間的距離。
7.按照權利要求1或6所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：所述籽晶安裝裝置包括角度調節臺Ⅰ(10)和角度調節臺Ⅱ(9)，角度調節臺Ⅱ(9)上部設置有籽晶夾具(8)。
8.按照權利要求7所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：角度調節臺Ⅰ(10)和角度調節臺Ⅱ(10)的角度調節軸的方向互相垂直。
9.按照權利要求1所述的一種連續生產的區熔爐，其特征在于：所述保溫室(12)中設置有限位夾(25)，所述限位夾(25)通過伸縮桿連接在保溫室(12)的側壁上。
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