[發(fā)明專利]一種無塵室夾基片用的鑷子

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810544201.6
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108393817A
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林峰
• 申請（專利權(quán)）人: 湖州正鳴塑膠科技有限公司
• 主分類號: B25B9/04
• 分類號: B25B9/04
• 代理公司: 杭州新源專利事務(wù)所(普通合伙) 33234
• 代理人: 李大剛

本發(fā)明公開了一種無塵室夾基片用的鑷子,包括固定臂，固定臂下端連接有第一夾板，第一夾板末端邊緣連接有第一膠條；固定臂上部連接有相互平行且垂直于的固定臂的第一導(dǎo)柱和第二導(dǎo)柱，第一導(dǎo)柱和第二導(dǎo)柱連接有活動臂，活動臂下端連接有第二夾板，第二夾板末端邊緣連接有第二膠條；第一導(dǎo)柱外圈連接有第一彈簧，第二導(dǎo)柱外圈連接有第二彈簧；第一導(dǎo)柱靠近活動臂的末端連接有第一固定塊，第二導(dǎo)柱靠近活動臂的末端連接有第二固定塊。本發(fā)明具有夾持尺寸變化幅度較大的基片側(cè)邊時不需要更換鑷子，不會發(fā)生崩邊、污染基片表面的特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種無塵室夾基片用的鑷子。

背景技術(shù)

在無塵室中進行微電子器件、MEMS器件等研發(fā)時經(jīng)常使用鑷子夾持基片。目前，無塵室夾基片用的鑷子是靠鑷子臂的旋轉(zhuǎn)運動夾緊基片的，夾持方法有夾持基片的上下表面和夾持基片的側(cè)邊兩種。夾持基片上下表面的方法，因為兩個夾臂之間夾角較小可以對不同尺寸的基片進行牢固的夾持，但是由于鑷子與基片上表面直接接觸容易造成基片表面的污染或劃傷。夾持基片側(cè)邊的方法，可以避免基片表面因鑷子的直接接觸而污染或劃傷，但是存在以下兩個問題：一方面，對于尺寸差異較大的基片需要更換不同尺寸的鑷子，否則容易出現(xiàn)兩個夾臂之間夾角過大，鑷子臂與基片側(cè)邊接觸面積較小，造成基片滑落；另一方面，即使使用合適尺寸的鑷子，如果操作不當，夾持壓力過大時仍會給基片側(cè)邊的尖銳棱邊造成較大的局部應(yīng)力而發(fā)生基片崩邊，基片崩邊產(chǎn)生的碎屑會污染基片上表面。因此現(xiàn)有的無塵室夾基片用的鑷子存在夾持尺寸變化幅度較大的基片側(cè)邊時需要更換鑷子和操作不當會發(fā)生崩邊、污染基片表面的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種無塵室夾基片用的鑷子。本發(fā)明具有夾持尺寸變化幅度較大的基片側(cè)邊時不需要更換鑷子，不會發(fā)生崩邊、污染基片表面的特點。

本發(fā)明的技術(shù)方案：一種無塵室夾基片用的鑷子，包括固定臂，固定臂下端連接有第一夾板，第一夾板末端邊緣連接有第一膠條；固定臂上部連接有相互平行且垂直于的固定臂的第一導(dǎo)柱和第二導(dǎo)柱，第一導(dǎo)柱和第二導(dǎo)柱連接有活動臂，活動臂下端連接有第二夾板，第二夾板末端邊緣連接有第二膠條；第一導(dǎo)柱外圈設(shè)有第一彈簧，第二導(dǎo)柱外圈設(shè)有第二彈簧；第一導(dǎo)柱靠近活動臂的末端連接有第一固定塊，第二導(dǎo)柱靠近活動臂的末端連接有第二固定塊。

前述的無塵室夾基片用的鑷子中，所述第一固定塊，與第一導(dǎo)柱采用螺紋連接。

前述的無塵室夾基片用的鑷子中，所述第二固定塊，與第二導(dǎo)柱采用螺紋連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過采用相互平行的第一導(dǎo)柱和第二導(dǎo)柱使活動臂無法發(fā)生旋轉(zhuǎn)運動而只能平移運動，因此鑷子給基片側(cè)邊的壓力與基片側(cè)邊垂直，從而避免基片滑落；另外，本發(fā)明通過在第一夾板末端邊緣設(shè)置第一膠條和在第二夾板末端邊緣設(shè)置第二膠條，不僅可以增大鑷子和基片側(cè)邊的摩擦力從而防止基片滑落，還可以減小基片側(cè)邊的局部應(yīng)力從而防止基片崩邊。本發(fā)明具有夾持尺寸變化幅度較大的基片側(cè)邊時不需要更換鑷子，不會發(fā)生崩邊、污染基片表面的特點。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明使用方法示意圖。

附圖中的標記為：1-固定臂，2-第一夾板，3-第一膠條，4-第一導(dǎo)柱，5-第二導(dǎo)柱，6-第一彈簧，7-第二彈簧，8-活動臂，9-第二夾板，10-第二膠條，11-第一固定塊，12-第二固定塊，13-基片。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明，但并不作為對本發(fā)明限制的依據(jù)。