[發明專利]一種合金蝕刻液及合金的蝕刻方法有效
| 申請號： | 201810542965.1 | 申請日： | 2018-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN108611641B | 公開（公告）日： | 2020-05-22 |
| 發明（設計）人： | 吳德生;崔子龍;林高 | 申請（專利權）人： | 信利光電股份有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18;C23F1/20;C23F1/30 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知識產權代理事務所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凱 |
| 地址： | 516600 廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 蝕刻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種合金蝕刻的方法，其特征在于，所使用的蝕刻液由以下成分組成：
醋酸：10～20wt％；雙氧水：20～30wt％；表面活性劑：1.5wt％；消泡劑：1.0wt％；余量為去離子水；
所述蝕刻的基材為三層膜層結構，從上至下依次為：第一金屬氧化物層、銅層和第二金屬氧化物層；
所述第一金屬氧化物層中包含氧化銅、氧化鋅和氧化鋁；
所述第二金屬氧化物層中包含氧化銅、氧化鋅和氧化鋁。
2.根據權利要求1所述的合金蝕刻的方法，其特征在于，所述表面活性劑為月桂醇硫酸鈉或木質素磺酸鹽。
3.根據權利要求1所述的合金蝕刻的方法，其特征在于，所述消泡劑為聚二甲基硅氧烷。
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