[發明專利]適用于硅片生產線的收料裝置

在審

• 申請號: 201810541612.X
• 申請日: 2018-05-30
• 公開（公告）號: CN108538772A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 蘇金財;羅賢良
• 申請（專利權）人: 東莞市科隆威自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 東莞市創益專利事務所 44249
• 代理人: 許彬

1.適用于硅片生產線的收料裝置，其特征在于：具有硅片輸送帶（1）、空盤輸送帶（2）、滿盤輸送帶（3）、視覺檢測調正機構（4）及若干收料盤（5）；所述收料盤（5）置放在設定區域并通過裝卸機構（6）自動置放及卸下，空盤輸送帶（2）提供空的收料盤（5）給裝卸機構（6），滿盤輸送帶（3）則接收裝卸機構（6）卸下的裝滿硅片的收料盤（5）；所述視覺檢測調正機構（4）沿硅片輸送帶（1）的送料方向布置一個、兩個或多個，視覺檢測調正機構（4）拾取硅片輸送帶（1）上輸送的硅片進行檢測及調正后放到相應收料盤（5）中，所述視覺檢測調正機構（4）的數量滿足覆蓋所有收料盤（5）置放硅片。

2.根據權利要求1所述的適用于硅片生產線的收料裝置，其特征在于：所述收料盤（5）帶有RF芯片，空的收料盤（5）的RF芯片在空盤輸送帶（2）上通過讀寫器進行刪除原有記錄，而裝滿硅片的收料盤（5）的RF芯片在滿盤輸送帶（3）上通過讀寫器重新寫入級別分類信息。

3.根據權利要求1或2所述的適用于硅片生產線的收料裝置，其特征在于：所述收料盤（5）置放在一中層板（7）提供的上下貫通的置放槽（71）中，置放槽（71）適配收料盤（5）上下穿行及定位置放；裝卸機構（6）設置在中層板（7）下側，裝卸機構（3）通過托舉方式裝卸收料盤（5）。

4.根據權利要求1所述的適用于硅片生產線的收料裝置，其特征在于：所述視覺檢測調正機構（4）具有視覺鏡頭（41）及可轉動調整的爪頭（42），爪頭（42）通過吊臂懸掛安裝在硅片輸送帶（1）上側并由直線電機驅動做XY平面移動，視覺鏡頭（41）設置在硅片輸送帶（1）下側，硅片輸送帶（1）對應爪頭（42）拾取硅片的工位做滿足視覺鏡頭（41）攫取硅片影像的鏤空設計，爪頭（42）抓取根據視覺鏡頭（41）所取得的硅片影像轉動調整硅片。

5.根據權利要求3所述的適用于硅片生產線的收料裝置，其特征在于：所述收料盤（5）和置放槽（71）為方形結構，置放槽（71）的內側設有錯位的承托臺（711），承托臺（711）適配收料盤（5）旋轉錯位置放；裝卸機構（6）具有可升降及轉動的托舉手（61），托舉手（61）安裝在直立座（62）上，直立座（62）則安裝在做XY向移動的平面運動支架（63）上；直立座（62）上還設有傳送帶（64），該傳送帶（64）跨接空盤輸送帶（2）和滿盤輸送帶（3）；所述空盤輸送帶（2）的預定位置設有頂起空的收料盤（5）給傳送帶（64）的第一頂起件（21），在第一頂起件（21）上設有適配刪除空收料盤（5）的RF芯片的記錄的讀寫器；所述滿盤輸送帶（3）的預定位置設有頂起接收傳送帶（64）送出的裝滿硅片的收料盤（5）的第二頂起件（31），在第二頂起件（31）上設有適配給裝滿硅片的收料盤（5）的RF芯片重新寫入級別分類的讀寫器。