[發(fā)明專利]一種在半導(dǎo)體硅器件上化學(xué)鍍Ni、Au的工藝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810540576.5
• 申請日: 2018-05-30
• 公開（公告）號: CN108486554B
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張志向;任雄;張晶輝;蔣宇飛
• 申請（專利權(quán)）人: 天水天光半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號: C23C18/36
• 分類號: C23C18/36;C23C18/44;C23C18/18
• 代理公司: 甘肅省知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)中心 62100
• 代理人: 陳醒

1.一種在半導(dǎo)體硅器件上化學(xué)鍍Ni、Au的工藝，其特征在于，包括以下步驟：

A、配制鍍鎳液：向石英缸中加入7200ml離子水、240g氯化鎳、400g氯化銨、520g檸檬酸銨攪拌1-2min，將石英缸內(nèi)溫度升至70±5℃，向石英缸內(nèi)加入80克次亞磷酸鈉攪拌1-2min，再將石英缸內(nèi)溫度升至87±5℃，向石英缸內(nèi)加入氨水調(diào)節(jié)pH值至8.5-9.0，得到鍍鎳液；

B、配置鍍金液：向石英缸中加入8100ml離子水、36g氰金化鉀攪拌1-2min，將石英缸內(nèi)溫度升至75±5℃，向石英缸內(nèi)加入900g檸檬酸鈉攪拌1-2min，再將石英缸內(nèi)溫度升至100±5℃得到鍍金液；

C、氯化金活化液配置：向活化劑聚乙烯缸加入5g氯化金、100ml鹽酸、550ml氫氟酸，7600ml離子水?dāng)嚢?-2分鐘得到氯化金活化液；

D、一次鍍鎳：將硅片浸入體積份數(shù)2.6-3%的氫氟酸中腐蝕10±2秒，沖洗干凈，再浸入體積份數(shù)2.6-3%的氫氟酸中二次腐蝕10±2秒，沖洗干凈后放入氯化金活化液活化6±1秒，沖洗干燥后放入溫度95±3℃的鍍鎳液中鍍鎳90±6秒，移入溢流槽中逆水流方向進(jìn)級沖洗12±1分鐘，甩干后置于氮氣烘箱內(nèi)烘烤20±5分鐘，氮氣烘箱烘烤溫度130±20℃，氮氣流量2±0.5LPM；

E、鎳燒結(jié):將一次鍍鎳后的硅片圖形面對圖形面排片放入石英燒結(jié)舟中，預(yù)熱10分鐘，溫度575℃燒結(jié)35±1分鐘，以1.5℃/分鐘降溫至500℃，取出冷卻；

F：硝酸處理：鎳燒結(jié)后的硅片放入為體積份數(shù)70±1%硝酸中，溫度95±5℃煮4±1分鐘，清洗；

G：二次鍍鎳：將硝酸處理后的硅片浸入體積份數(shù)2.6-3%的氫氟酸中腐蝕5-7秒，清洗干燥后放入溫度100±3℃的鍍鎳液中進(jìn)行二次鍍鎳，沖洗甩干后放入氮氣烘箱內(nèi)烘烤20±5分鐘，氮氣烘箱烘烤溫度130±20℃，氮氣流量2±0.5LPM；

H：鍍金：將二次鍍鎳后的硅片放入溫度110±5℃鍍金液中鍍金20-25秒，清洗甩干后放入氮氣烘箱內(nèi)烘烤20±5分鐘，氮氣烘箱烘烤溫度130±20℃，氮氣流量2±0.5LPM。