[發(fā)明專利]一種切削液的二次利用生產(chǎn)工藝

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201810539130.0
• 申請日: 2018-05-30
• 公開（公告）號: CN108659259A
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳德英
• 申請（專利權(quán)）人: 南通市豪利萊化工有限公司
• 主分類號: C08J11/06
• 分類號: C08J11/06;C08L71/02;C07C43/13;C07C41/40
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一種切削液的二次利用生產(chǎn)工藝，是對切削硅漿中的切削液回收的方法，切削硅漿含有硅混合物及切削液，回收其中切削液的方法為，分離；回收；本發(fā)明切削液的回收方法可提高切削液的再利用率，符合現(xiàn)今提倡綠色工業(yè)的概念，達(dá)到保護(hù)環(huán)境的功效。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種回收方法，具體是一種切削液的二次利用生產(chǎn)工藝。

背景技術(shù)

隨著太陽能產(chǎn)業(yè)及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，硅晶板的需求急遽增長，因此，將硅晶圓(硅晶板的原料)切削成硅晶板的切削過程所需的耗材(例如切削工具或切削液等)也相對增加，并且，該硅晶圓經(jīng)過切削后會產(chǎn)生大量的切削硅漿(廢料)。

在硅晶板的切削制程中，利用切削工具連續(xù)回轉(zhuǎn)方式對硅晶圓進(jìn)行切削動作，該切削動作是將該切削工具對硅晶圓施予密接且不間斷的壓力，其中，該切削工具是以高硬度的碳化硅(即俗稱金鋼砂)制作而成。切削動作的同時(shí)必須將預(yù)先調(diào)配好的切削液噴在切削處，使切削動作順利進(jìn)行，幫助硅晶圓及硅芯片的切削面保持平整且無刮痕。

該切削液中包含有碳化硅粉、聚乙二醇(PolyethyleneGlycol，簡稱PEG)或二乙二醇(DiethyleneGlycol，簡稱DEG)及冷卻水等，該碳化硅粉是用以輔助該切削工具對硅晶圓施壓，增加該切削工具的切削作用；該聚乙二醇或二乙二醇與水是作為冷卻劑，使切削過程中所產(chǎn)生的碳化硅粉與硅晶圓的硅粉排出該切削面，避免該碳化硅粉對硅晶圓的切削面造成刮痕，且聚乙二醇或二乙二醇的浸潤性佳、排削能力強(qiáng)，對于碳化硅粉具有良好的分散性，因此，在硅晶圓切削作業(yè)中，聚乙二醇或二乙二醇是作為切削液的最佳選擇。

由于應(yīng)用硅芯片的產(chǎn)業(yè)對于該硅芯片質(zhì)量要求嚴(yán)格，例如該硅芯片表面必須平整、潔凈、導(dǎo)電性佳且均勻等，隨著硅晶圓切削過程該切削液中會混有雜質(zhì)(如硅晶圓所產(chǎn)生之硅粉、或其它切削工具上的碎屑或鐵粉等)，則會影響該硅芯片的表面平整度等特性，當(dāng)該切削液經(jīng)過使用后，一旦雜質(zhì)混于該切削液中，該切削液便不可繼續(xù)使用，而產(chǎn)生大量的切削硅漿(廢液)，如能回收該切削硅漿則能減少廢液排放，并能回收再利用，以符合現(xiàn)今提倡環(huán)保之潮流。

巳知應(yīng)用于硅晶圓制程的回收方法主要是對該切削硅漿中的碳化硅粉及硅粉進(jìn)行回收，而非回收切削液，巳知將碳化硅粉或硅粉回收的方法是以沉降離心或旋風(fēng)分級的原理對廢液進(jìn)行固液分離，得到碳化硅粉或硅粉，或加入大量分離助劑使碳化硅粉或硅粉形成膠態(tài)沉降后，再進(jìn)行固液分離。

然而，上述方式所分離得到切削液，其回收效率不佳、質(zhì)量不良，甚至因添加其它分離助劑而使該切削液發(fā)生變質(zhì)而無法回收再利用，因此，巳知回收方法所得到可利用的產(chǎn)物是以固態(tài)的碳化硅粉或硅粉為主，其余切削液通常因質(zhì)量不良而無法進(jìn)行再利用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種切削液的二次利用生產(chǎn)工藝，該方法可提高切削液的再利用率、回收率，同時(shí)可提高切削液與固態(tài)碳化硅粉與硅粉之分離效果。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案是：

一種切削液的二次利用生產(chǎn)工藝，是對切削硅漿中的切削液回收的方法，切削硅漿含有硅混合物及切削液，回收其中切削液的方法為，分離；回收；所述分離步驟的切削液是聚乙二醇或二乙二醇；所述分離步驟的汽化操作時(shí)間為5～6小時(shí)；所述回收步驟是用冷凝系統(tǒng)對該汽化切削液進(jìn)行冷卻，得到液態(tài)的回收切削液。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)比較的有益效果是：

1.本發(fā)明切削液的回收方法可提高切削液的再利用率，符合現(xiàn)今提倡綠色工業(yè)的概念，達(dá)到保護(hù)環(huán)境的功效。

2.本發(fā)明切削液的回收方法可提高切削液之回收率，達(dá)到降低硅晶圓切削作業(yè)之切削液回收成本的功效。

3.本發(fā)明切削液的回收方法可提高切削液與固態(tài)碳化硅粉與硅粉的分離效果，達(dá)到提高回收切削液質(zhì)量的功效，并且對該碳化硅粉及硅粉進(jìn)行回收再利用，又能達(dá)到降低硅芯片制造成本的功效。