[發明專利]表面增強拉曼散射元件

有效

• 申請號: 201810538346.5
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN109001174B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 柴山勝己;丸山芳弘;伊藤將師
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

具備：

基板，具有主面；

細微結構部，被形成于所述主面上并且具有多個凸部；以及

導電體層，被形成于所述細微結構部上并且構成使表面增強拉曼散射發生的光學功能部，

在所述凸部的各個的外表面設置有凹陷區域，

通過所述導電體層進入到所述凹陷區域從而多個間隙被形成于所述導電體層，

所述凹陷區域是以包圍所述凸部的中心線的方式延伸的溝槽，

在著眼于相鄰的一對所述凸部的情況下，通過所述導電體層進入到被設置于所述凸部的所述外表面的所述凹陷區域而被形成的所述間隙的寬度小于被形成于一個所述凸部的所述外表面的所述導電體層與被形成于另一個所述凸部的所述外表面的所述導電體層之間的距離，一個所述凸部的所述外表面與另一個所述凸部的所述外表面之間的距離比所述溝槽的深度大。

2.如權利要求1所述的表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

所述凸部沿著所述主面被周期性地排列。

3.如權利要求1或者2所述的表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

所述凹陷區域相對于1個所述凸部被設置多個。

4.一種表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

具備：

基板，具有主面；

細微結構部，被形成于所述主面上并且具有多個凹部；以及

導電體層，被形成于所述細微結構部上并且構成使表面增強拉曼散射發生的光學功能部，

在所述凹部的各個的內面設置有凹陷區域，

通過所述導電體層進入到所述凹陷區域從而多個間隙被形成于所述導電體層，

所述凹陷區域是以包圍所述凹部的中心線的方式延伸的溝槽，

所述間隙通過所述導電體層被形成于相對的所述溝槽的內面而以追隨所述溝槽的延伸方向的方式被形成。

5.如權利要求4所述的表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

所述凹部沿著所述主面被周期性地排列。

6.如權利要求4或者5所述的表面增強拉曼散射元件，其特征在于：

所述凹陷區域相對于1個所述凹部被設置多個。