[發明專利]一種壓力可調的浮離拋光裝置

在審

• 申請號: 201810529543.0
• 申請日: 2018-05-29
• 公開（公告）號: CN108705411A
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 楊曉京;余證;劉寧;劉浩
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B13/005;B24B47/12;B24B47/22;B24B51/00
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1.一種壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：包括拋光容器(1)、支撐架(6)、磁浮式微位移機構、拋光盤機構、夾具保持平臺機構、電機傳動機構，支撐架(6)位于拋光容器(1)外側，磁浮式微位移機構、拋光盤機構、夾具保持平臺機構均位于拋光容器(1)內部，磁浮式微位移機構包括第一電磁鐵(18)、第二電磁鐵(19)、電磁鐵控制系統、壓力傳感器(22)；拋光盤機構包括拋光盤(2)、拋光托盤(20)、第二主軸(21)；夾具保持平臺機構包括旋轉夾具(5)、夾具保持平臺(3)、工件保持盤(16)；電機傳動機構包括伺服電機(9)、聯軸器(8)、第一主軸(7)、滾動軸承(10)、輪齒傳動零件(4)、平鍵(11)；

所述拋光容器（1）底部中間設有安裝軸孔，第二主軸(21)穿過拋光容器（1）底部的安裝軸孔伸入拋光容器（1）內部，第二主軸(21)由外部動力裝置控制轉動，第二主軸(21)的頂部與拋光托盤(20)連接，拋光托盤(20)安裝在拋光盤(2)的底部，第一電磁鐵(18)和第二電磁鐵(19)分別安裝在拋光盤(2) 底部和拋光容器(1)底部內壁，拋光盤(2)的上部為固定在拋光容器(1)內壁上的夾具保持平臺(3)，輪齒傳動零件(4)安裝在夾具保持平臺(3)上部且內壁設有輪齒，夾具保持平臺(3)上設有多個工位孔，工位孔內底部設置有空心的凸出平臺，旋轉夾具(5)包括空心圓柱體及設在空心圓柱體上部外側的輪齒，空心圓柱體的下端放置在夾具保持平臺(3)工位孔的凸出平臺上，旋轉夾具的輪齒與輪齒傳動零件(4)內壁的輪齒嚙合，工件保持盤(16)卡在旋轉夾具(5) 空心圓柱體孔的下端，夾具保持平臺(3)與拋光盤(2)的間距為H，工件(17) 、壓力傳感器(22)均固定在工件保持盤(16)底部，電磁鐵控制系統一端與壓力傳感器(22)連接，另一端與分別第一電磁鐵(18)和第二電磁鐵(19)連接，電磁鐵控制系統通過調節第一電磁鐵(18)和第二電磁鐵(19) 磁力大小來控制拋光盤(2)與夾具保持平臺(3)的間距，伺服電機(9)安裝在支撐架(6)上方，伺服電機(9)的電機軸穿過支撐架(6)上方支架后與聯軸器(8)連接，聯軸器(8)通過平鍵(11)與下方的第一主軸(7)連接，第一主軸(7)下端通過平鍵(11)與輪齒傳動零件(4)連接，第一主軸(7)轉動可帶動輪齒傳動零件(4)轉動。

2.根據權利要求1所述的壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：所述的壓力傳感器(22)獲得的實時壓力信號反饋給電磁鐵控制系統，電磁鐵控制系統根據輸入壓力信號與原設定壓力值比較后來控制第一電磁鐵(18)和第二電磁鐵(19) 磁力大小，進而調整拋光盤(2)與夾具保持平臺(3)的間距。

3.根據權利要求1所述的壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：所述的固定件（14）通過第二螺栓（15）固定在拋光容器（1）的四周，固定件（14）、夾具保持平臺（3）對應處設有螺栓孔，第一螺栓（12）穿過夾具保持平臺（3）、固定件（14）上的螺栓孔將二者連接在一起，第一螺栓（12）與夾具保持平臺（3）的連接處安裝有墊片（13）。

4.根據權利要求1所述的壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：所述的伺服電機（9）的動力依次通過聯軸器(8)、平鍵(11)、第一主軸(7)、輪齒傳動零件(4)輸出到旋轉夾具(5)中，使工件(17)獲得轉速，外部動力裝置輸出的動力通過第二主軸(21)傳遞給拋光盤(2)，使拋光盤(2)獲得轉速，工件(17)與拋光盤(2)轉動方向相同， 與的大小相近但不相等。

5.根據權利要求1所述的壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：所述的夾具保持平臺(3)上的工位孔直徑與旋轉夾具(5) 空心圓柱體的外徑相同，夾具保持平臺(3)工位孔內的凸出平臺中心通孔直徑與旋轉夾具(5) 空心圓柱體的內徑相同。

6.根據權利要求1所述的壓力可調的浮離拋光裝置，其特征在于：所述的工件(17)通過石蠟貼在工件保持盤(16)底部，所述的夾具保持平臺(3)上設有4個工位孔，工位孔與夾具保持平臺(3)中心的距離為。