[發(fā)明專利]一種可移動式高精度混合配氣裝置

在審

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• 申請日: 2018-05-29
• 公開（公告）號: CN108415363A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李東鋒;袁士豪;何暉;包漢波;朱程浩;李劍鋒;康玉茹;吳國偉;孫瀟;汪晗
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州杭氧股份有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05
• 代理公司: 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司 33101
• 代理人: 翁霽明

一種高精度混合配氣裝置，主要包括原料氣輸送、電氣控制、PLC實時控制、抽真空系統(tǒng)，管路充裝系統(tǒng)，原料氣輸送包括依次用管路連接的多個原料氣輸入端口以及各自的過濾器和氣源調(diào)節(jié)控制閥；原料氣輸送通過管路以及管路上安裝的多個氣動隔膜閥分別連通所述的抽真空系統(tǒng)和管路充裝系統(tǒng)，氣動隔膜閥由受控于電氣控制中PLC信號傳輸給電磁閥進行控制；原料氣輸送與管路充裝系統(tǒng)的連接管路中至少還設(shè)置有質(zhì)量流量控制器和第一壓力測點，而在原料氣輸送與抽真空系統(tǒng)的連接管路或抽真空系統(tǒng)的排氣管路中設(shè)置有第二壓力測點，電氣控制中PLC信號輸出是根據(jù)所述質(zhì)量流量控制器、所述第一壓力測點和第二壓力測點給出；它具有能夠?qū)崿F(xiàn)高效率高精度配氣，配氣效率高，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度混合氣的工業(yè)化生產(chǎn)，便于操作及優(yōu)化，能提高配氣精度等特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種可移動式高精度混合配氣裝置，屬于混合氣體的配置技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

目前高精度混合氣的生產(chǎn)方法主要有稱量法、分壓法、靜態(tài)容量法、滲透法、毛細(xì)管流量法等，但能夠用于工業(yè)生產(chǎn)且能夠溯源的目前還是以稱量法為主。即通過充入氣體的質(zhì)量計算來進行高精度混合氣體的生產(chǎn)。

由于高精度混合氣體，特別是標(biāo)準(zhǔn)氣的生產(chǎn)精度要求較高，一次配置法由于配置精度低、設(shè)備自動化程度低等原因，無法滿足生產(chǎn)需要，采用中間氣進行配置，但是中間氣的配置亦是由人工配置完成，極大的限制了生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，而提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)高效率高精度配氣，且配氣范圍可從ppm級到百分比級，配氣效率高，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度混合氣的工業(yè)化生產(chǎn)，便于操作及優(yōu)化，能提高配氣精度的可移動式高精度混合配氣裝置。

本發(fā)明的目的是通過如下技術(shù)方案來完成的，一種高精度混合配氣裝置，主要包括原料氣輸送、電氣控制、PLC實時控制、抽真空系統(tǒng)，管路充裝系統(tǒng)，所述的原料氣輸送包括依次用管路連接的多個原料氣輸入端口以及各自的過濾器和氣源調(diào)節(jié)控制閥；所述的原料氣輸送通過管路以及管路上安裝的多個氣動隔膜閥分別連通所述的抽真空系統(tǒng)和管路充裝系統(tǒng)，且所述的氣動隔膜閥由受控于電氣控制中PLC信號傳輸給電磁閥進行控制；所述的原料氣輸送與管路充裝系統(tǒng)的連接管路中至少還設(shè)置有質(zhì)量流量控制器和第一壓力測點，而在原料氣輸送與抽真空系統(tǒng)的連接管路或抽真空系統(tǒng)的排氣管路中設(shè)置有第二壓力測點，且所述電氣控制中PLC信號輸出是根據(jù)所述質(zhì)量流量控制器、所述第一壓力測點和第二壓力測點給出。

作為優(yōu)選：所述的原料氣輸入端口分別有兩組，每組至少由兩路原料氣輸入端口構(gòu)成，所述的管路充裝系統(tǒng)和抽真空系統(tǒng)至少通過一安裝有氣動隔膜閥的連接管路串接，并在各自的管路中還安裝有一氣動隔膜閥；所述的管路充裝系統(tǒng)包括一用于放置充氣鋼瓶的高精密電子天平減震臺，在該高精密電子天平減震臺上方配置有與原料氣輸送用管路連接的管路進出口柔性結(jié)構(gòu)，該管路進出口柔性結(jié)構(gòu)包括一與瓶口相連接的快插接頭，該快插接頭連接一吊裝在頂部下垂管上的、位于高精密電子天平減震臺上方的進氣口螺旋盤旋軟管；

所述的抽真空系統(tǒng)包括真空泵、安全排放口、真空電阻規(guī)和緊急切斷閥組裝而成，且該抽真空系統(tǒng)間歇抽真空。

作為優(yōu)選：所述的高精密電子天平減震臺有三層平臺基座，底層基座為混凝土，放置有四根帶有減震彈簧的支撐結(jié)構(gòu)，中層基座為具有吸振作用的粉末減振臺，上層基座為混凝土減振臺，上層基座通過橡膠墊安置在中層基座上面。

本發(fā)明不僅能用原料氣高效配制ppm級濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣，而且所配制的標(biāo)準(zhǔn)氣誤差相對于配氣系統(tǒng)誤差較小，且配氣效率更高，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度混合氣的工業(yè)化生產(chǎn)；對于ppm級組分氣的控制困難，通過PLC實時反饋控制，通過鋼瓶充裝壓力反饋和鋼瓶充裝氣體質(zhì)量反饋來控制質(zhì)量流量控制器的氣體速率；采用PLC控制，具有良好的人機交互界面，便于操作及優(yōu)化，通過實時反饋計算，可對系統(tǒng)誤差進行自動補償，從而提高了高精度混配氣的配氣精度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)組成原理示意圖。