[發明專利]一種氣動執行器應用的低磨損導向桿及其表面工藝有效
| 申請號： | 201810526266.8 | 申請日： | 2018-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN108754416B | 公開（公告）日： | 2020-12-18 |
| 發明（設計）人： | 陳榮琴 | 申請（專利權）人： | 蘇州瑞領克信息科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/02 | 分類號： | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/06;F16K31/12 |
| 代理公司： | 蘇州周智專利代理事務所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 周雅卿 |
| 地址： | 215400 江蘇省蘇州市太*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣動 執行 應用 磨損 導向 及其 表面 工藝 | ||
1.一種氣動執行器應用的低磨損導向桿的制備工藝，其特征在于，包括如下步驟：
步驟(1)，提供一導向桿的碳素鋼基材，打磨其表面，并將打磨后的碳素鋼基材放置于酸性溶液中，充分洗滌取出后再水洗干燥，得到預處理的基材；
步驟(2)，利用霍爾氣體離子源對所述基材進行氣體轟擊來強化預處理的基材表面，霍爾源工作電壓為500～1800V，轟擊環境溫度600～800℃，轟擊時間2～3h；
步驟(3)，采用Nd：YAG脈沖激光打孔器在步驟(2)處理后的基材表面打圓孔，孔徑為0.06～0.1mm，面積率為10％～25％，得到表面織構化的基材；
步驟(4)，采用磁過濾沉積技術在表面織化的基材表面分別沉積ZrB2靶和MoS2靶，形成涂覆于基材表面的固體涂層，進而得到表面工藝處理后的導向桿。
2.根據權利要求1所述的氣動執行器應用的低磨損導向桿的制備工藝，其特征在于，步驟(1)中所述的酸性溶液為含硫酸1～2mol/L和氫氟酸0.5～1mol/L的溶液。
3.根據權利要求1所述的氣動執行器應用的低磨損導向桿的制備工藝，其特征在于，步驟(2)中所述的氣體為氦氣、氬氣。
4.根據權利要求1所述的氣動執行器應用的低磨損導向桿的制備工藝，其特征在于，步驟(4)中所述的ZrB2靶所占質量百分數為30～65％，所述的MoS2靶所占質量百分數為35～70％。
5.根據權利要求1所述的氣動執行器應用的低磨損導向桿的制備工藝，其特征在于，步驟(4)中所述磁過濾沉積技術采用起弧電流90～120A，彎管磁場2.0～4.0A，束流200～800mA，采用負壓-800V～-300V進行沉積。
6.一種氣動執行器應用的低磨損導向桿，其特征在于，該導向桿經由根據權利要求1～5任意一項所述的制備工藝制備得到。
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