[發(fā)明專(zhuān)利]能夠高分辨率印刷的通用型有機(jī)蒸氣噴射沉積器和用于OVJP印刷的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810520563.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108930016A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐欣;G·麥格勞;W·E·奎因
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 環(huán)球展覽公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/12
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 李琳

本申請(qǐng)涉及能夠高分辨率印刷的通用型有機(jī)蒸氣噴射沉積器和用于OVJP印刷的方法。提供OVJP沉積器和使用其的技術(shù)，其中遞送和約束流的襯底平面內(nèi)速度都不為零并且穿過(guò)兩者之間的邊界彼此平行。這些配置提供提高的材料利用效率和放松的飛行高度公差，同時(shí)實(shí)現(xiàn)可接受的印刷分辨率和特征均勻性。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)是非臨時(shí)的并要求2017年5月26日提交的美國(guó)臨時(shí)專(zhuān)利申請(qǐng)第62/511,730號(hào)的益處，所述申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使用OVJP技術(shù)制造裝置的裝置和技術(shù)，以及使用其制造的裝置。

背景技術(shù)

出于多種原因，利用有機(jī)材料的光電裝置變得越來(lái)越受歡迎。用于制造所述裝置的許多材料相對(duì)較為便宜，因此有機(jī)光電裝置具有優(yōu)于無(wú)機(jī)裝置的成本優(yōu)勢(shì)的潛力。另外，有機(jī)材料的固有性質(zhì)(例如其柔性)可以使其較適用于特定應(yīng)用，如在柔性襯底上的制造。有機(jī)光電裝置的實(shí)例包括有機(jī)發(fā)光二極管/裝置(OLED)、有機(jī)光電晶體管、有機(jī)光伏電池和有機(jī)光電檢測(cè)器。對(duì)于OLED，有機(jī)材料可以具有優(yōu)于常規(guī)材料的性能優(yōu)勢(shì)。舉例來(lái)說(shuō)，有機(jī)發(fā)射層發(fā)射光的波長(zhǎng)通常可以容易地用適當(dāng)?shù)膿诫s劑來(lái)調(diào)節(jié)。

OLED利用有機(jī)薄膜，其在電壓施加于裝置上時(shí)會(huì)發(fā)射光。OLED正成為用于如平板顯示器、照明和背光的應(yīng)用中的日益受關(guān)注的技術(shù)。美國(guó)專(zhuān)利第5,844,363號(hào)、第6,303,238號(hào)和第5,707,745號(hào)中描述若干OLED材料和配置，所述專(zhuān)利以全文引用的方式并入本文中。

磷光發(fā)射分子的一個(gè)應(yīng)用是全色顯示器。針對(duì)此類(lèi)顯示器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)需要適合于發(fā)射特定顏色(稱(chēng)為“飽和”色)的像素。具體來(lái)說(shuō)，這些標(biāo)準(zhǔn)需要飽和紅色、綠色和藍(lán)色像素?；蛘?，OLED可經(jīng)設(shè)計(jì)以發(fā)射白光。在常規(guī)液晶顯示器中，使用吸收濾光器過(guò)濾來(lái)自白色背光的發(fā)射以產(chǎn)生紅色、綠色和藍(lán)色發(fā)射。相同技術(shù)也可以用于OLED。白色OLED可以是單EML裝置或堆疊結(jié)構(gòu)。可以使用所屬領(lǐng)域中所熟知的CIE坐標(biāo)來(lái)測(cè)量色彩。

如本文所用，術(shù)語(yǔ)“有機(jī)”包括可以用于制造有機(jī)光電裝置的聚合材料和小分子有機(jī)材料?！靶》肿印笔侵覆⒎蔷酆衔锏娜魏斡袡C(jī)材料，并且“小分子”可能實(shí)際上相當(dāng)大。在一些情況下，小分子可以包括重復(fù)單元。舉例來(lái)說(shuō)，使用長(zhǎng)鏈烷基作為取代基并不會(huì)將某一分子從“小分子”類(lèi)別中去除。小分子還可以并入聚合物中，例如作為聚合物主鏈上的側(cè)接基團(tuán)或作為主鏈的一部分。小分子還可以充當(dāng)樹(shù)枝狀聚合物的核心部分，所述樹(shù)枝狀聚合物由一系列構(gòu)建在核心部分上的化學(xué)殼層組成。樹(shù)枝狀聚合物的核心部分可以是熒光或磷光小分子發(fā)射體。樹(shù)枝狀聚合物可以是“小分子”，并且認(rèn)為當(dāng)前在OLED領(lǐng)域中使用的所有樹(shù)枝狀聚合物都是小分子。

如本文所用，“頂部”意指離襯底最遠(yuǎn)，而“底部”意指最靠近襯底。在第一層被描述為“安置于”第二層“上方”的情況下，第一層被安置于離基板較遠(yuǎn)處。除非規(guī)定第一層“與”第二層“接觸”，否則第一與第二層之間可以存在其它層。舉例來(lái)說(shuō)，即使陰極和陽(yáng)極之間存在各種有機(jī)層，仍可以將陰極描述為“安置于”陽(yáng)極“上方”。

如本文所用，“溶液可處理”意指能夠以溶液或懸浮液的形式在液體介質(zhì)中溶解、分散或傳輸和/或從液體介質(zhì)沉積。

當(dāng)認(rèn)為配體直接促成發(fā)射材料的光敏性質(zhì)時(shí)，所述配體可以被稱(chēng)為“光敏性的”。當(dāng)認(rèn)為配體并不促成發(fā)射材料的光敏性質(zhì)時(shí)，所述配體可以被稱(chēng)為“輔助性的”，但輔助性配體可以改變光敏性配體的性質(zhì)。