[發明專利]一種電子光學系統

有效

• 申請號: 201810517125.X
• 申請日: 2017-09-07
• 公開（公告）號: CN109470732B
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 喬山
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G01N24/00
• 分類號: G01N24/00
• 代理公司: 上海泰能知識產權代理事務所(普通合伙) 31233
• 代理人: 宋纓

1.一種電子光學系統，其特征在于，所述電子光學系統至少包括：磁場和非軸對稱透鏡群，其中，

所述磁場用于分離初始入射電子和出射電子的運動軌道并實現電子運動方向的偏轉，使得所述初始入射電子偏轉第一設定角度，并使得所述出射電子偏轉第二設定角度，所述磁場在垂直磁場方向和平行磁場方向具有不同的電子光學特性；所述非軸對稱透鏡群用于補償磁場電子光學特性在垂直及平行磁場方向的非對稱性，減小像差，并與磁場相配合使電子束在像平面上在沿垂直磁場方向和平行磁場的兩個方向上同時成像。

2.根據權利要求1所述的電子光學系統，其特征在于：所述第一設定角度為(0°，360°)，所述第二設定角度為(0°，360°)。

3.根據權利要求2所述的電子光學系統，其特征在于：所述第一設定角度及所述第二設定角度為10°、15°、20°、25°、30°、45°、60°、90°、120°、135°或180°中任意一個角度或任意兩個角度。

4.根據權利要求1所述的電子光學系統，其特征在于：所述非軸對稱透鏡群包括多個透鏡組，其中至少一個透鏡組為非軸對稱透鏡組。

5.根據權利要求4所述的電子光學系統，其特征在于：所述非軸對稱透鏡群包括第一透鏡組、第二透鏡組及第三透鏡組。

6.根據權利要求4或5所述的電子光學系統，其特征在于：所述非軸對稱透鏡組至少包括一個非軸對稱透鏡。

7.根據權利要求6所述的電子光學系統，其特征在于：所述非軸對稱透鏡為圓柱形電透鏡一分為多而構筑的電多極透鏡。

8.根據權利要求7所述的電子光學系統，其特征在于：所述非軸對稱透鏡為電四極透鏡。

9.根據權利要求7所述的電子光學系統，其特征在于：可以通過調整所述電多極透鏡的電極電壓，實現電子束的偏轉。