[發(fā)明專(zhuān)利]機(jī)械手取片方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810515692.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110534466A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 儲(chǔ)芾坪;張鶴南
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 11112 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?lt;國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>

1.一種機(jī)械手取片方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，控制機(jī)械手進(jìn)行取片操作，并在該過(guò)程中判斷是否出現(xiàn)異常，若是，則暫停所述取片操作，并執(zhí)行S2；

S2，提示用戶重新確定基片當(dāng)前位置，并接收用戶確定的基片當(dāng)前位置，根據(jù)基片當(dāng)前位置進(jìn)行下步操作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手取片方法，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片在機(jī)械手上；

在步驟S2中，根據(jù)基片在機(jī)械手上對(duì)應(yīng)的下步操作為繼續(xù)取片操作。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手取片方法，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片在腔室內(nèi)；

在步驟S2中，根據(jù)基片在腔室內(nèi)對(duì)應(yīng)的下步操作為提示用戶進(jìn)行重試或者停止操作。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手取片方法，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片位置未知；

在步驟S2中，根據(jù)基片位置未知對(duì)應(yīng)的下步操作為自動(dòng)停止工作。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)械手取片方法，其特征在于，在步驟S1之前，還包括：

檢查操作，檢查并判斷檢查參數(shù)是否滿足取片條件，若是，則執(zhí)行步驟S1。

6.一種機(jī)械手取片系統(tǒng)，其特征在于，包括：控制模塊和恢復(fù)模塊，其中

所述控制模塊，用于控制機(jī)械手進(jìn)行取片操作，并在該過(guò)程中判斷是否出現(xiàn)異常，若是，則暫停所述取片操作，并向所述恢復(fù)模塊發(fā)送執(zhí)行信號(hào)；

所述恢復(fù)模塊，用于提示用戶重新確定基片當(dāng)前位置，并接收用戶確定的基片當(dāng)前位置，根據(jù)基片當(dāng)前位置進(jìn)行下步操作。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手取片系統(tǒng)，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片在機(jī)械手上；

所述恢復(fù)模塊中根據(jù)基片在機(jī)械手上對(duì)應(yīng)的下步操作為繼續(xù)取片操作。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手取片系統(tǒng)，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片在腔室內(nèi)；

所述恢復(fù)模塊中根據(jù)基片在機(jī)械手上對(duì)應(yīng)的下步操作為提示用戶進(jìn)行重試或者停止操作。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手取片系統(tǒng)，其特征在于，所述基片當(dāng)前位置包括：基片位置未知；

所述恢復(fù)模塊中根據(jù)基片在機(jī)械手上對(duì)應(yīng)的下步操作為自動(dòng)停止工作。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手取片系統(tǒng)，其特征在于，還包括：檢查模塊，用于檢查并判斷檢查參數(shù)是否滿足取片條件，若是，則向控制模塊發(fā)送執(zhí)行信號(hào)。