[發明專利]一種對單晶硅生產中回收的氬氣純化的方法有效
| 申請號： | 201810515171.6 | 申請日： | 2018-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN108892113B | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發明（設計）人： | 馬建泰;楊廣學 | 申請（專利權）人： | 蘭州大學 |
| 主分類號： | C01B23/00 | 分類號： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 蘭州振華專利代理有限責任公司 62102 | 代理人： | 張晉 |
| 地址： | 730000 *** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 生產 回收 純化 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種對單晶硅生產中回收的氬氣純化的方法，其特征在于在反應床中均勻裝填催化劑，并使催化劑表面保持在同一平面，先通入高純氧氣對催化劑進行預氧化處理，反應裝置升溫至100℃～400℃，然后使待純化的氬氣流過催化劑表面，所述催化劑為鈣鈦礦型復合氧化物催化劑；所用的催化劑制備方法為：
1）按照A1-xAx’B1-xBx’O3的比例分別取錳、鑭、鈰、鍶、鈷、銅及鎳的可溶性金屬鹽加入水攪拌使其完全溶解配成混合液，然后滴加1～3 mol/L有機酸至上述混合液中制備金屬鹽溶液；
2）制備具有儲氧功能的載體： 按照摩爾比1:1~1:5加入Ce和Zr的可溶性金屬鹽和水使其完全溶解，滴加氫氧化鈉溶液調節pH至堿性，離心、100℃干燥、650℃焙燒，得到具有儲氧功能的載體；
3）將前述制備好的金屬鹽溶液浸漬到具有儲氧功能的載體上，經烘干、800~1000℃焙燒后，再次浸漬，即：將焙燒后的催化劑加入水使其完全溶解，滴加制備好的金屬鹽溶液，烘干、焙燒，重復三至五次；
4）將催化劑浸泡在1~8 mol/L的HNO3溶液中對催化劑表面進行處理。
2.根據權利要求1所述的對單晶硅生產中回收的氬氣純化的方法，其特征在于所得到的催化劑在使用前先用球磨機處理，再篩網篩選出顆粒度為20 ~ 30 目的顆粒裝填于反應床中。
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