[發明專利]基于重離子徑跡技術的超表面納米天線陣列的制造方法及應用有效
| 申請號： | 201810511602.1 | 申請日： | 2018-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN108647467B | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發明（設計）人： | 付永啟;崔頌雅;游依莎;趙康伊 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G06F30/23 | 分類號： | G06F30/23;G06F30/20 |
| 代理公司： | 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 何凡 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 離子 徑跡 技術 表面 納米 天線 陣列 制造 方法 應用 | ||
1.一種基于重離子徑跡技術的超表面納米天線陣列的制造方法,其特征在于，所述方法包括如下步驟：
步驟S1：采用時域有限差分仿真軟件設計納米天線陣列，并計算出陣列尖端產生的表面等離激元，形成局部增強的“熱點效應”；
步驟S2：根據設計的納米天線參數，優化“熱點效應”超聚焦點的聚焦度；
步驟S3：根據優化后的聚焦度，利用重離子徑跡技術進行加工，制造基于超表面的納米天線陣列；
步驟S4：通過近場掃描光學顯微鏡的近場測試基于超表面的納米天線陣列，驗證生物成像所需的納米量級的照明光源；
步驟S5：將生物分子或者細胞樣品放置在納米天線陣列結構上，通過暗場顯微鏡目鏡及CCD相機觀察樣品形貌；
步驟S6：將基于超表面的納米天線陣列轉移到海洋光譜儀上，分別測試在不同濃度的乙醇溶液和丙酮溶液下的光譜數據，獲取不同情況的光譜數據，得到其針對不同的分子所具有的生化傳感檢測功能。
2.根據權利要求1所述的基于重離子徑跡技術的超表面納米天線陣列的制造方法，其特征在于，所述步驟S4在生物成像的具體應用包括如下步驟：
步驟S41：利用重離子徑跡技術加工納米天線陣列，并將加工好的納米天線陣列結構放到玻璃基底上；
步驟S42：打開近場掃描光學顯微鏡對納米天線陣列結構進行近場掃描，將納米天線陣列結構放到掃描臺上，采用532nm的激光在反射模式下垂直照射納米天線陣列結構，并設置探針參數；
步驟S43：切光纖，并裝好光纖，并檢查探針是否能夠接收激光信號；
步驟S44：通過顯微鏡目鏡，調整探針跟激光的位置，使兩者重合；
步驟S45：選擇軟件下探針，采用探針掃描整個納米天線陣列結構；
步驟S46：保存掃描結果，并通過WSM軟件查看掃描“納米量級的照明光源”的結果；
步驟S47：將生物分子或者細胞樣品放置在納米天線陣列結構上，通過暗場顯微鏡目鏡及CCD相機觀察樣品形貌。
3.根據權利要求1所述的基于重離子徑跡技術的超表面納米天線陣列的制造方法,其特征在于，所述步驟S6在海洋光譜儀的具體應用包括如下步驟：
步驟S61：用重離子徑跡技術加工納米天線陣列，并將加工好的納米天線陣列結構制備到玻璃基底上；
步驟S62：打開海洋光譜儀對納米天線陣列結構進行光譜測試，選擇乙醇溶液跟丙酮溶液作為測試目標；
步驟S63：將納米天線陣列結構放到光學顯微鏡的載物臺上，選擇放大倍率為50倍的物鏡，將光源聚焦到納米天線陣列結構表面；
步驟S64：分別將不同濃度的乙醇溶液和丙酮溶液滴到納米天線陣列結構表面，并收集光譜數據；
步驟S65：保存光譜數據，利用Origin軟件處理實驗數據。
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