[發(fā)明專利]加熱裝置及其制備方法和應用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810508756.5 | 申請日： | 2018-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN108658605A | 公開（公告）日： | 2018-10-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 梅心濤;向其軍;譚毅成 | 申請（專利權）人： | 深圳市商德先進陶瓷股份有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/581 | 分類號： | C04B35/581;C04B35/622;C04B41/88;H05B3/28 |
| 代理公司： | 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 518101 廣東省深圳市寶安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生坯 加熱裝置 金屬坯體 制備 制備方法和應用 復合坯體 陶瓷粉料 層疊件 添加劑 密封金屬 燒結處理 使用壽命 氮化鋁 坯體層 氧化鋁 助燒劑 自氧化 粘合 板狀 晶圓 壓合 加熱 上層 | ||
1.一種加熱裝置的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
制備兩個板狀的生坯，每個所述生坯的材料包括陶瓷粉料，所述陶瓷粉料包括氮化鋁和助燒劑，所述助燒劑與所述氮化鋁的質(zhì)量比為3:100～5:100；
在其中一個所述生坯的一個表面上形成金屬坯體層，所述金屬坯體層的材料包括鎢和添加劑，所述添加劑選自氧化釔及氮化鋁中的至少一種；
在形成有所述金屬坯體層的所述生坯上層疊另一個所述生坯，以使所述金屬坯體層位于兩個所述生坯之間，得到層疊件；
將所述層疊件壓合，以使兩個所述生坯與所述金屬坯體層緊密接觸，并使兩個所述生坯的邊緣相粘合而使兩個所述生坯共同密封所述金屬坯體層，得到復合坯體；及
將所述復合坯體燒結處理，得到所述加熱裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，還包括所述生坯的制備步驟，所述生坯的制備步驟包括：將所述陶瓷粉料與有機單體、交聯(lián)劑、助劑和水混合形成漿料；在所述漿料中加入催化劑和引發(fā)劑，然后注模成型，再經(jīng)干燥，得到所述生坯。
3.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述在其中一個所述生坯的一個表面上形成金屬坯體層的步驟包括：采用鎢漿在其中一個所述生坯的一個表面上絲網(wǎng)印刷形成所述金屬坯體層，所述鎢漿包括所述鎢和所述添加劑。
4.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述添加劑與所述鎢的質(zhì)量比為3:97～6:94。
5.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述助燒劑選自氧化釔及氧化鈣中的至少一種。
6.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述氮化鋁的中位粒徑為1微米～2微米；及/或，所述助燒劑的中位粒徑為0.4微米～0.8微米。
7.根據(jù)權利要求1所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述將所述層疊件壓合的步驟為：將所述層疊件在靜水壓力下壓合。
8.根據(jù)權利要求1～7任一項所述的加熱裝置的制備方法，其特征在于，所述將所述復合坯體燒結處理的步驟包括：將所述復合坯體排膠處理，然后在保護氣體的氣氛中將所述復合坯體在1780℃～1830℃下燒結。
9.一種加熱裝置，其特征在于，由權利要求1～8任一項所述的加熱裝置的制備方法制備得到。
10.權利要求9所述的加熱裝置在晶圓的加工處理中的應用。
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