[發明專利]用于校準至少一個傳感器的方法在審
| 申請號： | 201810507973.2 | 申請日： | 2018-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN108931292A | 公開（公告）日： | 2018-12-04 |
| 發明（設計）人： | B.康寧;K.H.鮑姆格特 | 申請（專利權）人： | 赫拉胡克兩合公司 |
| 主分類號： | G01H11/08 | 分類號： | G01H11/08;G01R29/22 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姬亞東;劉春元 |
| 地址： | 德國利*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電元件 電極 校準 傳感器 測量電極 激勵電壓 施加 機械變形 檢測 變形 | ||
1.一種用于校準至少一個傳感器的方法，其中所述傳感器具有至少一個具有至少一個電極的壓電元件（2），并且其中至少一個電極被構造為測量電極（3），
其特征在于：
將激勵電壓施加到壓電元件（2）的至少一個另外的被構造為校準電極（4）的電極上，以用于產生壓電元件（2）的機械變形，
利用至少一個測量電極（3）檢測由壓電元件（2）的變形所引起的電壓，
比較施加的激勵電壓和檢測的電壓，
計算在校準電極（4）和測量電極（3）之間形成的電場，以及
電場的計算進入到校準因子的計算中。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述壓電元件（2）的變形是收縮，特別是橫向收縮。
3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，確定所檢測的電壓信號的電壓幅度。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的方法，其特征在于，確定所述激勵電壓的電壓幅度與所測量的電壓的電壓幅度的比率，并且從所述比率計算校準因子。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的方法，其特征在于，所述激勵電壓是交流電壓，并且所述壓電元件（2）的由所述交流電壓引起的變形是振蕩。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的方法，其特征在于，涉及正弦激勵電壓，特別是具有變化頻率的激勵電壓，特別是頻率掃描。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的方法，其特征在于，在利用所述測量電極（3）測量電壓期間，同時將校準電壓施加到所述校準電極（4）上。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的方法，其特征在于，所述校準電極（4）和所述測量電極（3）兩者都用于檢測固體聲信號。
9.根據權利要求1至8中任一項所述的方法，其特征在于，傳感器的污染程度從所述激勵電壓和利用所述測量電極（3）檢測到的由所述變形引起的電壓推斷出。
10.一種具有至少一個壓電元件（2）的用于檢測至少一個固體聲信號的傳感器裝置，其中所述壓電元件（2）具有至少一個構造為測量電極（3）的電極并且其中所述測量電極（3）與至少一個接地電極（5）相關聯，
其特征在于：
所述壓電元件（2）具有至少一個另外的電極，
至少一個另外的電極被構造為校準電極（4），并且
所述校準電極（4）至少分區段地包圍所述測量電極（3）或者所述測量電極（3）至少分區段地包圍所述校準電極（4）。
11.根據權利要求10所述的傳感器裝置，其特征在于，所述壓電元件（2）平坦地構造并且所述壓電元件（2）由薄膜，特別是PVDF薄膜構成。
12.根據權利要求10或11所述的傳感器裝置，其特征在于，所述校準電極（4）和所述測量電極（3）并排布置在一個平面中。
13.根據權利要求10至12中任一項所述的傳感器裝置，其特征在于，所述校準電極（4）和所述測量電極（3）相疊地布置。
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