[發(fā)明專利]一種超薄石英劃切方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810498918.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108748738A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁廣華;徐亞新;趙飛;賈世旺;劉穎;何超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十四研究所
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 河北東尚律師事務(wù)所 13124
• 代理人: 王文慶

本發(fā)明公開(kāi)了一種超薄石英劃切方法，屬于薄膜電路基板加工技術(shù)領(lǐng)域。本方法主要包括石蠟粘接、粘附承載膜、加熱解鍵合、去蠟清洗、倒膜等步驟。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，可以實(shí)現(xiàn)超薄石英的高質(zhì)量劃切，同時(shí)提高劃切后的清洗和分揀效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜電路基板加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種超薄石英劃切方法。

背景技術(shù)

石英基板由于具有低損耗、低介電常數(shù)、高頻性能穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)，可用于高頻毫米波、太赫茲薄膜電路器件的制造中。

現(xiàn)有的石英基板劃切方法是將基板粘貼到UV膜或藍(lán)膜上進(jìn)行劃切。采用UV膜或藍(lán)膜這種柔性底膜進(jìn)行劃切時(shí)，由于石英基板質(zhì)地硬且脆，高速旋轉(zhuǎn)的劃片刀擠壓基板切割面，容易產(chǎn)生嚴(yán)重的背崩。對(duì)于超薄石英基板來(lái)說(shuō)，背崩問(wèn)題更為嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種超薄石英劃切方法，該方法能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)超薄石英的高質(zhì)量快速劃切。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種超薄石英劃切方法，其包括以下步驟：

（1）用粘結(jié)劑將待切石英基板粘接到玻璃板上；

（2）將粘接了石英基板的玻璃板放到劃片機(jī)中，按照石英基板的劃切標(biāo)記進(jìn)行劃切；

（3）在劃切好的石英基板表面粘貼帶有粘性的中轉(zhuǎn)膜；

（4）將粘好中轉(zhuǎn)膜的玻璃板加熱，待玻璃板上的粘結(jié)劑融化后，將表層的中轉(zhuǎn)膜揭下，使劃切成型的石英基板跟隨中轉(zhuǎn)膜從玻璃板上剝離；

（5）將帶有石英基板的中轉(zhuǎn)膜固定到清洗支架上，用清洗劑去除石英基板表面的粘結(jié)劑，并洗凈吹干；

（6）將石英基板的洗凈面粘到一張帶有擴(kuò)膜環(huán)的承載膜上，撕下石英基板表面的中轉(zhuǎn)膜；

（7）將粘附石英基板的承載膜放到擴(kuò)膜機(jī)上擴(kuò)膜，完成超薄石英基板的劃切。

可選的，所述粘結(jié)劑為石蠟，所述清洗劑為酒精，所述中轉(zhuǎn)膜為高溫膠帶或UV膜，所述承載膜為UV膜。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所取得的有益效果為：

1、與現(xiàn)有的UV膜藍(lán)膜等柔性膜作為劃切底膜不同，本發(fā)明將石英基板通過(guò)臨時(shí)鍵合的方式粘接在玻璃板上進(jìn)行劃切。由于玻璃是硬質(zhì)的劃切底膜，能夠很好地降低劃片刀擠壓影響，從而可以減少石英基板的劃切背崩情況，改善劃切質(zhì)量。

2、本發(fā)明采用粘結(jié)劑臨時(shí)鍵合方式，劃切后可以使用相應(yīng)溶劑將石英基板與玻璃板之間解鍵合，并且，不同于現(xiàn)有技術(shù)中將劃切后的基板進(jìn)行整體浸泡的解鍵合方式，本發(fā)明采用中轉(zhuǎn)膜進(jìn)行整版解鍵合。現(xiàn)有技術(shù)中，整體浸泡解鍵合之后，整版基板分散成大量劃切成型的小器件，導(dǎo)致后期的清洗分揀包裝會(huì)非常耗時(shí)間。而本發(fā)明采用中轉(zhuǎn)膜整版解鍵合、整版清洗、整版包裝的方式，效率更高，同時(shí)方便后期擴(kuò)膜自動(dòng)化組裝。

3、本發(fā)明的中轉(zhuǎn)膜可以使劃切成型的石英基板依舊保持原來(lái)排版的陣列結(jié)構(gòu)，防止劃切后的石英單個(gè)小器件松散脫落，在清洗時(shí)能有效防止器件間的劃傷。

4、本發(fā)明工藝簡(jiǎn)便可靠，效率高，對(duì)設(shè)備的依賴度較小。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的方法流程圖。

具體實(shí)施方式

下面，結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1所示，一種超薄石英劃切方法，包括以下步驟：

（1）用石蠟將待切石英基板粘接到玻璃板上；