[發明專利]一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板在審
| 申請號： | 201810494016.0 | 申請日： | 2018-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN108531982A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發明（設計）人： | 曾國偉;喬曉東 | 申請（專利權）人： | 嘉興耐進新材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 | 代理人： | 周兵 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣流擋板 多晶硅鑄錠 蓋板本體 蓋板 坩堝 進氣孔 渦流 進氣孔位置 懸掛螺桿 測溫孔 進氣管 掛孔 排出 裝設 供氣 反彈 懸掛 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板，其特征在于：
包括蓋板本體，蓋板本體中開設有進氣孔，蓋板本體下方裝設有氣流擋板，該氣流擋板的位置與進氣孔位置對應，蓋板本體與氣流擋板之間留有供氣流排出的間隙。
2.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板，其特征在于：
進氣孔及氣流擋板均為圓形，進氣孔的中軸線與氣流擋板的中軸線重合，氣流擋板的直徑大于進氣孔的直徑。
3.根據權利要求2所述的一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板，其特征在于：
氣流擋板中開設有測溫孔，測溫孔的中軸線與進氣孔的中軸線重合，并且測溫孔的直徑小于進氣孔的直徑。
4.根據權利要求1所述的一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板，其特征在于：
蓋板本體中開設有一組掛孔，各掛孔圍繞進氣孔順次排布，氣流擋板邊緣開設有一組勾孔，各勾孔圍繞測溫孔順次排布，勾孔與掛孔位置對應，蓋板本體與氣流擋板之間設有一組懸掛螺桿，懸掛螺桿頂端伸入掛孔中，與蓋板本體連接，其底端伸入勾孔中，與氣流擋板連接，使氣流擋板懸掛于蓋板本體下方。
5.根據權利要求4所述的一種用于多晶硅鑄錠坩堝的蓋板，其特征在于：
懸掛螺桿采用碳/碳復合材料制作。
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