[發(fā)明專利]一種晶圓的生產(chǎn)工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810491010.8
• 申請(qǐng)日: 2018-05-21
• 公開（公告）號(hào): CN108754612B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何雁波;吳美娟;韓柯;王青;江振
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市克拉尼聲學(xué)科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B33/10
• 分類號(hào): C30B33/10;C30B29/06;H01L21/306
• 代理公司: 北京高航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11530
• 代理人: 喬浩剛

1.一種晶圓的生產(chǎn)方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：

步驟一：將塊狀的復(fù)晶硅置于石英坩堝內(nèi)，加熱使其完全融化為硅熔漿；

步驟二：將步驟一中的硅熔漿溫度穩(wěn)定后依次進(jìn)行晶棒的頸部成長(zhǎng)、晶冠成長(zhǎng)、晶體成長(zhǎng)和尾部成長(zhǎng)；

步驟三：將步驟二中的晶棒直徑偏小的頭、尾部裁切同時(shí)進(jìn)行外徑研磨；

步驟四：將步驟三中的晶棒放入切片機(jī)中進(jìn)行切片，切片成晶片后研磨；

步驟五：將步驟四中的晶片放入到濕法刻蝕裝置中進(jìn)行蝕刻；

步驟六：將步驟五中的晶片放入到清洗裝置中徹底清洗、風(fēng)干；

其中，所述濕法刻蝕裝置包括一號(hào)筒體(1)、二號(hào)筒體(2)和擋板(3)；所述二號(hào)筒體(2)同軸安裝在一號(hào)筒體(1)內(nèi)部；所述擋板(3)的數(shù)量為八個(gè)且在一號(hào)筒體(1)內(nèi)部呈圓周排列，擋板(3)將一號(hào)筒體(1)分割為一號(hào)密封倉(cāng)(4)、二號(hào)密封倉(cāng)(5)和三號(hào)密封倉(cāng)(6)，所述二號(hào)密封倉(cāng)(5)一側(cè)為一號(hào)密封倉(cāng)(4)、二號(hào)密封倉(cāng)(5)另一側(cè)為三號(hào)密封倉(cāng)(6)；擋板(3)上設(shè)有通孔(31)；所述一號(hào)密封倉(cāng)(4)的數(shù)量為兩個(gè)，一號(hào)密封倉(cāng)(4)側(cè)壁開設(shè)有一號(hào)滑槽(41)，一號(hào)密封倉(cāng)(4)內(nèi)部設(shè)有擋液模塊(42)；所述二號(hào)密封倉(cāng)(5)數(shù)量為四個(gè)，二號(hào)密封倉(cāng)(5)內(nèi)部固定安裝刻蝕模塊(51)；所述三號(hào)密封倉(cāng)(6)數(shù)量為兩個(gè)，三號(hào)密封倉(cāng)(6)中設(shè)有一號(hào)進(jìn)液口(61)；所述二號(hào)筒體(2)底部開設(shè)有排液口(21)，二號(hào)筒體(2)與一號(hào)密封倉(cāng)(4)相交處側(cè)壁開設(shè)有二號(hào)進(jìn)液口(43)；

所述刻蝕模塊(51)包括殼體(511)、三號(hào)導(dǎo)桿(512)和轉(zhuǎn)動(dòng)單元(513)；所述殼體(511)上設(shè)有三號(hào)進(jìn)液口(518)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)單元(513)通過三號(hào)導(dǎo)桿(512)固定安裝在殼體側(cè)壁上；

所述擋液模塊(42)包括一號(hào)滑塊(421)、一號(hào)導(dǎo)桿(422)、浮動(dòng)塊(423)、二號(hào)導(dǎo)桿(424)、一號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(425)、三號(hào)滑塊(426)和球形擋塊(427)；所述浮動(dòng)塊(423)通過一號(hào)導(dǎo)桿(422)與一號(hào)滑塊(421)固定連接；所述一號(hào)滑塊(421)在一號(hào)滑槽(41)上滑動(dòng)；所述浮動(dòng)塊(423)下方設(shè)有三號(hào)滑塊(426)；所述三號(hào)滑塊(426)中設(shè)有二號(hào)滑槽(428)；所述二號(hào)導(dǎo)桿(424)一端與浮動(dòng)塊(423)連接；二號(hào)導(dǎo)桿(424)的另一端設(shè)有二號(hào)滑塊(429)、其用于帶動(dòng)三號(hào)滑塊(426)運(yùn)動(dòng)；所述三號(hào)滑塊(426)通過一號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(425)一端與球形擋塊(427)固定連接、一號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(425)另一端與一號(hào)密封倉(cāng)(4)側(cè)壁固定連接；所述球形擋塊(427)與二號(hào)進(jìn)液口(43)配合使用；

所述轉(zhuǎn)動(dòng)單元(513)包括轉(zhuǎn)動(dòng)扇葉(514)、一號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(515)、震動(dòng)單元(516)和夾緊單元(7)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)扇葉(514)固定安裝在一號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(515)上；所述夾緊單元(7)通過震動(dòng)單元(516)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在一號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(515)中；

所述震動(dòng)單元(516)為螺旋板(517)；所述螺旋板(517)用于使夾緊單元(7)相對(duì)于一號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(515)轉(zhuǎn)動(dòng)；

所述夾緊單元(7)包括二號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(71)、二號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(72)、一號(hào)彈簧(73)和夾緊塊(74)；所述二號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(72)一端與二號(hào)轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(71)固定連接、二號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(72)另一端與夾緊塊(74)固定連接；二號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(72)外套設(shè)有一號(hào)彈簧(73)；所述二號(hào)滑動(dòng)伸縮桿(72)、一號(hào)彈簧(73)和夾緊塊(74)配合用于夾緊晶圓(8)。