[發明專利]結構簡單便于安裝的組合泵有效
| 申請號： | 201810478959.4 | 申請日： | 2018-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN108757380B | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發明（設計）人： | 郭衛斌;薛函迎;柴云川;王瀏杰 | 申請（專利權）人： | 南京華東電子真空材料有限公司 |
| 主分類號： | F04B35/04 | 分類號： | F04B35/04;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/14;F04B41/06 |
| 代理公司： | 32215 南京君陶專利商標代理有限公司 | 代理人： | 沈根水<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 210034 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 吸氣劑泵 組合泵 便于安裝 底座 陰極 多孔吸氣材料 濺射離子泵 標準電極 真空系統 陽極室 陽極筒 真空腔 裝載量 法蘭 維修 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種結構簡單便于安裝的組合泵，包括一個或多個陽極室組成的用以連接高壓的陽極筒，一個或多個用于固定吸氣劑泵的底座以及由一組或多組多孔吸氣材料組成的吸氣劑泵，其特征是固定吸氣劑泵的底座同時作為濺射離子泵的陰極使用；所述底座為“幾”字形，陽極筒設于底座下部的空腔中，開口正對兩個底座互相平行的平面；
還包括一與底座相同材質的金屬棒，其穿過陽極筒圍成的空腔，并固定在底座上。
2.根據權利要求1所述的一種結構簡單便于安裝的組合泵，其特征是所述多孔吸氣材料為從鈦、鋯、鉿、鉭、釔、鈮、鉬、釩、錳、鐵、鎳、鈷、鋁中選擇一種或多種，將金屬或他們的合金粉末混合均勻后，用模具壓制成厚度為0.5-2mm的圓片。
3.根據權利要求1所述的一種結構簡單便于安裝的組合泵，其特征是所述底座為鈦、鋯、鈮、鉭中的一種或多種，由總含量大于底座總重量50%的合金制得。
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