[發明專利]一種新型金剛線硅片脫膠機

有效

• 申請號: 201810475186.4
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN108447810B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發明（設計）人: 朱孝吉;周炎;王海慶
• 申請（專利權）人: 江蘇美科太陽能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02;B08B3/12
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

1.一種新型金剛線硅片脫膠機，包括清洗室（1），所述清洗室（1）包括入口和出口，其特征在于：所述清洗室（1）內依次設置有第一清洗槽（2）、第二清洗槽（3）、第三清洗槽（4）、熱水脫膠槽（5）和乳酸脫膠槽（6），所述第一清洗槽（2）對應所述入口，所述乳酸脫膠槽（6）對應出口，所述第一清洗槽（2）、第二清洗槽（3）、第三清洗槽（4）的槽壁上設有超聲板，采用超聲浸泡清洗，

所述第一清洗槽（2）內設有第一超聲板（21），所述第二清洗槽（3）內設有第二超聲板（31），所述第一超聲板（21）與所述第二超聲板（31）分別朝向所述硅片的兩側面；所述第三清洗槽（4）內設有第三超聲板（41），所述第三超聲板（41）朝向所述硅片的底面。

2.根據權利要求1所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：所述清洗室（1）內設有硅片固定裝置（7），所述硅片固定裝置（7）包括轉軸（73），所述轉軸（73）上設置有硅片清洗筐（71），所述硅片清洗筐（71）沿所述轉軸（73）滑動，并浸入或離開清洗槽，所述轉軸（73）受控于電機自轉。

3.根據權利要求2所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：所述轉軸（73）上伸出有伸縮臂（72），所述伸縮臂（72）平行于所述清洗槽的開口，所述硅片清洗筐（71）設于所述伸縮臂（72）上，所述硅片清洗筐（71）受控于所述伸縮臂（72）伸出或進入所述清洗室。

4.根據權利要求3所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：所述伸縮臂（72）通過吊桿（74）固定所述硅片清洗筐（71），所述硅片清洗筐（71）受控于所述吊桿（74）沿豎直方向往復運動。

5.根據權利要求2所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：所述第一清洗槽（2）、第二清洗槽（3）、第三清洗槽（4）、熱水脫膠槽（5）和乳酸脫膠槽（6）呈圓周分布，所述轉軸（73）位于圓心處。

6.根據權利要求1所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：清洗槽和脫膠槽均設有溢流進水管（11）和溢流出水管（12），所述溢流進水管（11）與所述溢流出水管（12）的流量受控于控制閥（13）。

7.根據權利要求1所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：所述入口與所述出口連通為取放口（14）。

8.根據權利要求1所述的一種新型金剛線硅片脫膠機，其特征在于：還包括至少一個清洗劑箱，所述清洗劑箱上伸出有清洗劑輸送管，所述清洗劑輸送管的出口延伸到所述第一清洗槽（2）或第二清洗槽（3）上方，所述清洗劑輸送管受控于閥體或泵體間歇性向所述第一清洗槽（2）或第二清洗槽（3）中滴送清洗劑。