[發(fā)明專利]一種靶材的綁定方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810473313.7 | 申請日： | 2018-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN108655525A | 公開（公告）日： | 2018-10-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高建杰;李金龍;孟紅波;劉正國 | 申請（專利權(quán)）人： | 洛陽豐聯(lián)科綁定技術有限公司 |
| 主分類號： | B23K1/00 | 分類號： | B23K1/00;B23K1/20;B23K3/04;B23K3/08 |
| 代理公司： | 鄭州知己知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41132 | 代理人： | 任海玲 |
| 地址： | 471100 河南省洛*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶材 銅背板 綁定 高溫膠帶 清洗 超聲波探傷 加熱平臺 拋光 結(jié)合率 均勻度 平整度 無間隙 貼膜 涂抹 校平 粘貼 | ||
1.一種靶材的綁定方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）準備銅背板和靶材，所述靶材為銅靶材或者鉬靶材；將銦提前熔化為銦液，備用；
（2）將靶材和銅背板做好對接標識，然后在靶材非工作區(qū)域粘貼第一高溫膠帶，在背板非工作區(qū)域粘貼第二高溫膠帶；
（3）將步驟（2）處理后的靶材和銅背板背銦面向上，并列平鋪放置于加熱平臺上，啟動加熱平臺，均勻升溫到200~240℃后保溫20~40min，然后將步驟（1）銦液均勻涂抹在靶材與銅背板的背銦面工作區(qū)域，涂抹3~5 遍，每遍4~6min，靶材和銅背板上銦液的涂抹厚度均為0.4~0.8mm；
（4）采用真空吸盤將步驟（3）處理后的靶材吸起，翻轉(zhuǎn)180°，按照對接標識將靶材與銅背板背銦面對接，將壓塊置于靶材遠離銅背板的表面，觀察靶材側(cè)邊是否有銦液流出，若無流出則滿足要求，若流出則收集回收利用，然后將對接后的靶材冷卻至室溫；
（5）將步驟（4）處理后的靶材進行校平、除去高溫膠帶、超聲波探傷、第一次清洗、拋光、第二次清洗、貼膜、包裝，完成綁定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（1）所述靶材的長度2300~3500mm，寬度180~1800mm，厚度8~16mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（2）所述第一高溫膠帶寬度為40~60mm，所述第二高溫膠帶寬度為10~20mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（2）所述第一高溫膠帶和第二高溫膠帶的耐受溫度均為220~300℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（3）所述升溫速率為1.5~3.5℃/min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（4）壓塊為鐵塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或者6所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（4）所述壓塊與靶材貼合面積占靶材遠離銅背板一面的面積的70%~85%，所述壓塊的重量是10~100kg。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（5）所述的校平步驟為：對步驟（4）處理后的靶材進行數(shù)據(jù)測量，標識出翹曲度不合格的位置，然后將墊塊放置于靶材翹曲部位底部，采用C型卡扣卡合在靶材兩端，使用套管扳手對C型卡扣加壓一定時間，以套管扳手每90度為一個旋緊單位，直至翹曲度滿足要求。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（5）所述第一次清洗和第二次清洗均是采用酒精進行擦拭。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的綁定方法，其特征在于，步驟（5）所述包裝步驟是：采用真空包裝機在無塵環(huán)境下雙層真空包封，放入干燥劑、溫度測試紙，粘貼產(chǎn)品標簽。
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