[發(fā)明專利]一種柔性壓阻傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810462429.0 | 申請日: | 2018-05-15 |
| 公開(公告)號: | CN108917995A | 公開(公告)日: | 2018-11-30 |
| 發(fā)明(設計)人: | 吳化平;劉震東;楊建奎;裘燁;梁利華;劉愛萍;丁浩;王有巖 | 申請(專利權)人: | 浙江工業(yè)大學 |
| 主分類號: | G01L1/18 | 分類號: | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司: | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人: | 黃歡娣;邱啟旺 |
| 地址: | 310014 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 膜組件 金字塔陣列 壓阻傳感器 導電通路 導通 塔尖 金字塔 電路電阻 互鎖結構 靈敏度 嵌合 涂覆 靈敏 | ||
1.一種柔性壓阻傳感器,其特征在于,包括兩個膜組件,所述膜組件由PDMS和涂覆在PDMS表面的rGO層構成,該膜組件正面具有金字塔陣列;兩個膜組件正面相對,其表面的金字塔陣列相互嵌合。
2.根據(jù)權利要求1所述的柔性壓阻傳感器,其特征在于,傳感器的信號輸出是通過兩個銅電極實現(xiàn)的,銅電極通過銀膠粘貼于rGO層,兩個銅電極關于膜組件中心對稱。
3.根據(jù)權利要求1所述的柔性壓阻傳感器,其特征在于,兩個膜組件封裝在PDMS內。
4.根據(jù)權利要求1所述的柔性壓阻傳感器,其特征在于,所述膜組件通過以下步驟制備得到:
(1)將正庚烷,乙酸乙酯,十八烷基三甲氧基硅氧烷按照體積比1000:50:20配置成溶液,將硅模板浸泡在該溶液中兩小時,進行疏水處理。所述硅模板正面帶有金字塔陣列結構;
(2)將PDMS與交聯(lián)劑按質量比10:1比例混合均勻后,反復真空除氣泡,旋涂在疏水處理后的硅模板表面。將涂有PDMS的硅模板放在鼓風干燥機中,60℃加熱2小時。固化后,與硅模板水中剝離。
(3)對表面具有金字塔微結構的PDMS表面進行氧等離子處理,增加其表面親水性。
(4)將具有金字塔微結構的PDMS反復涂抹rGO溶液。待溶液干燥后即可進行組裝,以獲得柔性壓阻傳感器。
5.根據(jù)權利要求4所述的柔性壓阻傳感器,其特征在于,所述rGO溶液的濃度為1mg/ml。
6.根據(jù)權利要求1所述的柔性壓阻傳感器,其特征在于,所述rGO層的厚度大約在500μm左右。
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