[發明專利]不存在內部捕獲的流體的具有端口的壓力傳感器

在審

• 申請號: 201810461465.5
• 申請日: 2018-05-15
• 公開（公告）號: CN108871662A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: I.本特利;J.D.佩奇;J.M.弗里比利;K.羅思
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 鄒松青;傅永霄

本發明涉及不存在內部捕獲的流體的具有端口的壓力傳感器。實施例總體上涉及用例如凝膠的壓力傳遞流體來填充壓力傳感器并且防止在所述壓力傳感器內的捕獲空氣的方法和系統。壓力傳感器可以包括基板；感測管芯，所述感測管芯安裝在所述基板上；外殼，所述外殼被構造成在所述感測管芯上方附接至所述基板，其中，所述外殼包括通到所述外殼的中空內部的開口；以及凝膠材料，所述凝膠材料被構造成填充所述外殼的中空內部并且覆蓋所述感測管芯，其中，所述外殼包括多個有特定形狀的壁，所述有特定形狀的壁被構造成在所述凝膠材料填充所述外殼的中空內部時引導所述凝膠材料。

背景技術

傳感器常用于感測環境參數，例如，壓力、溫度、濕度、流量、導熱系數、氣體濃度、光、磁場、電場、以及許多其它環境參數。這樣的傳感器用于多種多樣的應用，包括例如醫療應用、飛行控制應用、工業過程應用、燃燒控制應用、天氣監測應用、水計量應用、以及許多其它應用。

發明內容

在實施例中，壓力傳感器可以包括基板；感測管芯，所述感測管芯安裝在所述基板上；外殼，所述外殼被構造成在所述感測管芯上方附接至所述基板，其中，所述外殼包括通到所述外殼的中空內部的開口；以及凝膠材料，所述凝膠材料被構造成填充所述外殼的中空內部并且覆蓋所述感測管芯，其中，所述外殼包括多個有特定形狀的壁，所述有特定形狀的壁被構造成在所述凝膠材料填充所述外殼的中空內部時引導所述凝膠材料。

在實施例中，用于形成壓力傳感器的方法可以包括：形成外殼，其中，所述外殼包括中空內部、通到所述中空內部的開口、基部部分、以及在所述基部部分與所述開口之間的一個或多個成角度的壁；將所述外殼的基部部分附接至基板，其中，所述外殼的中空內部覆蓋附接至所述基板的感測管芯；用凝膠填充所述外殼的中空內部，其中，所述凝膠經由所述開口從所述基部部分被填充至所述開口的邊沿；以及在所述凝膠的填充期間，經由所述一個或多個成角度的壁朝向所述開口引導在所述中空內部內的空氣，其中，在填充所述外殼時，所述一個或多個成角度的壁防止捕獲空氣。

在實施例中，壓力傳感器可以包括基板；感測管芯，所述感測管芯安裝在所述基板上；以及中空外殼，所述中空外殼被構造成覆蓋所述感測管芯，其中，所述外殼包括端口部分、中間部分和基部部分，其中，所述端口部分包括通到所述外殼的中空內部的開口，其中，所述基部部分固定到所述基板，其中，所述中間部分將所述基部部分與所述端口部分連接，并且其中，所述中間部分包括內壁，所述內壁的輪廓是向上傾斜的曲線。

附圖說明

為了更完全地理解本公開，現在參考以下結合附圖和具體實施方式進行的簡要描述，其中，相同的參考標記表示相似的部分。

圖1示出了根據本公開的實施例的壓力傳感器的透視圖。

圖2示出了根據本公開的實施例的壓力傳感器的剖視圖。

圖3示出了根據本公開的實施例的與壓力傳感器一起使用的外殼的透視圖。

圖4示出了根據本公開的實施例的與壓力傳感器一起使用的外殼的頂視圖。

圖5A至圖5B示出了根據本公開的實施例的與壓力傳感器一起使用的外殼的剖視圖。

具體實施方式

在一開始就應當理解的是，雖然在下文示出了一個或多個實施例的說明性實施方式，但是可以使用多種技術來實施所公開的系統和方法，無論所述技術是目前已知的還是尚不存在的。本公開決不應當被限制于下文示出的說明性實施方式、附圖和技術，而是可以在所附權利要求的范圍以及其等同物的全部范圍內被修改。

術語的以下簡短定義適用于整個申請：

術語“包括”指包括但不限于，并且應當以其通常被用于專利上下文中的方式來解釋；