[發(fā)明專利]一種濕式制程設(shè)備液流物理洗凈裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810458577.5 | 申請日： | 2018-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN108526175A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳瀅如;簡健哲 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽宏實自動化裝備有限公司 |
| 主分類號： | B08B11/00 | 分類號： | B08B11/00;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濕式制程 特氟龍管 洗凈裝置 液流 機(jī)臺 連接孔 毛刷 刷毛 通孔 流出 沖力 封口 半導(dǎo)體晶圓 圓柱形腔體 傳動裝置 橫向安裝 均勻排列 清洗機(jī)構(gòu) 使用壽命 圓柱外壁 軸套連接 包覆的 潔凈度 進(jìn)液管 良品率 延長模 整合型 聯(lián)通 模刷 外壁 臟污 粘附 洗刷 污染物 保證 | ||
1.一種濕式制程設(shè)備液流物理洗凈裝置，橫向安裝在濕式制程設(shè)備中，其特征是，包括本體(1)，所述本體(1)包括特氟龍管(2)，所述特氟龍管(2)為一端封口，另一端設(shè)有連接孔的圓柱形腔體，其連接孔端與濕式制程機(jī)臺的藥液進(jìn)液管(3)聯(lián)通，且端部與濕式制程機(jī)臺的傳動裝置軸套連接，特氟龍管(2)的圓柱外壁設(shè)有均勻排列的通孔(4)，特氟龍管(2)外壁設(shè)有包覆的刷毛(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕式制程設(shè)備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述濕式制程設(shè)備包括傳動輥(6)和噴淋管(7)，所述傳動輥(6)為圓柱形，其上承載有基板(8)，噴淋管(7)位于載具上方，特氟龍管(2)位于基板(8)與噴淋管(7)之間，且特氟龍管(2)的刷毛(5)與基板(8)上表面緊貼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕式制程設(shè)備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述特氟龍管(2)上通孔(4)呈螺旋狀均勻排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕式制程設(shè)備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述刷毛(5)外表面整體為海綿體型的波點(diǎn)。
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