[發(fā)明專利]一種流化床制備TiN、TiC、TiCN涂層的系統(tǒng)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810457652.6
• 申請(qǐng)日: 2018-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110158050B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱慶山;宋淼;向茂喬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院過(guò)程工程研究所
• 主分類號(hào): C23C16/30
• 分類號(hào): C23C16/30;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/448
• 代理公司: 北京方安思達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11472
• 代理人: 陳琳琳;張紅生

1.一種流化床制備TiN、TiC、TiCN涂層的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：粉體加料裝置(1)、預(yù)反應(yīng)流化床(2)、沉積流化床(3)、TiCl₄回收利用裝置(4)、基底(5)；

所述粉體加料裝置(1)包括粉體儲(chǔ)罐(1-1)、螺旋加料器(1-2)；

所述預(yù)反應(yīng)流化床(2)包括TiCl₄蒸發(fā)器(2-1)、預(yù)反應(yīng)流化床主體(2-2)、預(yù)反應(yīng)流化床旋風(fēng)分離器(2-3)、預(yù)反應(yīng)流化床排料器(2-4)、細(xì)粉回收儲(chǔ)罐(2-5)、高溫除塵器(2-6)、加熱裝置(2-7)；

所述沉積流化床(3)包括沉積流化床主體(3-1)、沉積流化床旋風(fēng)分離器(3-2)、剩余粉體回收儲(chǔ)罐(3-3)；

所述TiCl₄回收利用裝置(4)包括TiCl₄冷凝器(4-1)、TiCl₄回收儲(chǔ)罐(4-2)；

所述粉體儲(chǔ)罐(1-1)的底部出料口與所述螺旋加料器(1-2)進(jìn)口相連；所述螺旋加料器(1-2)出口與所述預(yù)反應(yīng)流化床主體(2-2)的進(jìn)料口通過(guò)管道相連；

所述TiCl₄蒸發(fā)器(2-1)配有所述加熱裝置(2-7)；所述TiCl₄蒸發(fā)器(2-1)進(jìn)氣口與惰性流化氣體管道通過(guò)管道相連；所述TiCl₄蒸發(fā)器(2-1)出氣口與所述預(yù)反應(yīng)流化床主體(2-2)底部進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床主體(2-2)頂部出氣口與所述預(yù)反應(yīng)流化床旋風(fēng)分離器(2-3)進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床旋風(fēng)分離器(2-3)出氣口與所述高溫除塵器(2-6)進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；所述高溫除塵器(2-6)出氣口與所述TiCl₄冷凝器(4-1)的進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床旋風(fēng)分離器(2-3)底部出料口與所述細(xì)粉回收儲(chǔ)罐(2-5)進(jìn)料口通過(guò)管道相連；所述高溫除塵器(2-6)底部出料口與所述細(xì)粉回收儲(chǔ)罐(2-5)進(jìn)料口通過(guò)管道相連；所述細(xì)粉回收儲(chǔ)罐(2-5)出料口與所述預(yù)反應(yīng)流化床排料器(2-4)的進(jìn)料口通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床主體(2-2)出料口與所述預(yù)反應(yīng)流化床排料器(2-4)的進(jìn)料口通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床排料器(2-4)的底部進(jìn)氣口與惰性流化氣體管道通過(guò)管道相連；所述預(yù)反應(yīng)流化床排料器(2-4)的出料口與所述沉積流化床主體(3-1)的進(jìn)料口相連；

所述沉積流化床主體(3-1)底部進(jìn)氣口與惰性流化氣體管道通過(guò)管道相連；所述沉積流化床主體(3-1)頂部出氣口與所述沉積流化床旋風(fēng)分離器(3-2)進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；所述沉積流化床主體(3-1)出料口與所述剩余粉體回收儲(chǔ)罐(3-3)通過(guò)管道相連；所述沉積流化床主體(3-1)上部進(jìn)氣口與氮源氣體管道、碳源氣體主管道通過(guò)管道相連；所述沉積流化床旋風(fēng)分離器(3-2)底部出料口與所述剩余粉體回收儲(chǔ)罐(3-3)通過(guò)管道相連；所述沉積流化床旋風(fēng)分離器(3-2)頂部出氣口與所述TiCl₄冷凝器(4-1)進(jìn)氣口通過(guò)管道相連；

所述TiCl₄冷凝器(4-1)底部TiCl₄出口與所述TiCl₄回收罐(4-2)通過(guò)管道相連；所述TiCl₄冷凝器(4-1)頂部出氣口尾氣經(jīng)尾氣處理后，回收利用；

所述基底(5)懸掛于所述沉積流化床主體(3-1)內(nèi)部上部。