[發明專利]基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置

在審

• 申請號: 201810456435.5
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108917611A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 周偉靜;洪延姬;常浩;金星;葉繼飛
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍戰略支援部隊航天工程大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B7/02
• 代理公司: 北京元周律知識產權代理有限公司 11540
• 代理人: 李花

1.一種基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，包括：

測量對象模擬部件，包括反透射棱鏡，所述反透射棱鏡設置于測量對象模擬部件上并隨所述測量對象模擬部件運動；

激光干涉組件，與所述反透射棱鏡光路連接，并隨所述測量對象模擬部件的運動產生激光干涉輸出；

待標定傳感器探頭，所述待標定傳感器探頭正對所述反透射棱鏡設置，測量所述待標定傳感器探頭與所述測量對象模擬部件之間的線性距離；

擬合所述傳感器輸出和所述激光干涉輸出得到所述傳感器的非線性誤差和非平行誤差；

所述測量對象模擬部件的運動為所述測量對象模擬部件繞轉軸轉動和所述測量對象模擬部件靠近或遠離所述待標定傳感器探頭。

2.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，入射所述反透射棱鏡的激光束的入射點與所述待標定傳感器探頭對所述測量對象模擬部件的測量點在同一鉛垂線上，且所述入射點和所述測量點均遠離所述測量對象模擬塊的轉軸。

3.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置還包括光電處理組件，所述光電處理組件與所述激光干涉組件光路連接，所述光電處理組件獲取所述激光干涉輸出。

4.根據權利要求3所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述光電處理組件包括光電探測器和示波器，所述示波器與所述光電探測器數據連接，所述光電探測器與所述激光干涉組件光路連接并獲取所述激光干涉輸出。

5.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述激光干涉組件包括：激光器、分光器；所述反透射棱鏡包括第一棱鏡和第二棱鏡；所述激光器、所述第一棱鏡和所述第二棱鏡分別與所述分光器光路連接；所述第二棱鏡設置于所述測量對象模擬部件上；所述分光器的入射面與所述激光器光路連接，所述分光器的出光端輸出所述激光干涉輸出。

6.根據權利要求5所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置還包括光電處理組件，所述分光器的出光端與所述光電處理組件光路連接。

7.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述反透射棱鏡為角隅棱鏡或角錐棱鏡；進一步優選的，所述反透射棱鏡為角隅棱鏡。

8.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述激光器為紫外激光器，所述激光的波長為200～300nm。

9.根據權利要求1所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置還包括位置控制組件，所述測量對象模擬部件安裝于所述位置控制組件上，所述位置控制組件控制所述測量對象模擬部件沿所述測量對象模擬部件的轉軸轉動或調節所述測量對象模擬部件與所述待標定傳感器探頭距離。

10.根據權利要求9所述的基于激光干涉的位移測量誤差標定裝置，其特征在于，所述位置控制組件包括距離調節組件和轉角調節組件，所述測量對象模擬部件安裝于所述轉角調節組件上；所述轉角調節組件安裝于所述距離調節組件上，所述轉角調節組件隨所述距離調節組件作縱向運動。