[發明專利]一種用于多晶硅鑄錠爐抽真空系統的智能化節能裝置

在審

• 申請號: 201810456410.5
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108385162A
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 楊定勇;郭茂勇
• 申請（專利權）人: 揚州晶櫻光電科技有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京申云知識產權代理事務所(普通合伙) 32274
• 代理人: 于賀賀;朱進

本發明公開一種用于多晶硅鑄錠爐抽真空系統的智能化節能裝置，包括一組爐體、與每一爐體配套使用并通過爐體管道相連的爐體泵以及一個滑閥真空泵；所述的滑閥真空泵通過設置的氣動蝶閥組件連接有滑閥真空泵管道；所述的滑閥真空泵管道又連接安裝有分路管道；而所述的分路管道又連接安裝有鋼絲波紋管道。本發明中設置一臺使用的和一臺備用的滑閥真空泵并通過設置的滑閥真空泵管道、分路管道、鋼絲波紋管道以及對應安裝的氣動蝶閥組件和止回閥，再配合連接爐體泵和鑄錠爐的爐體，通過PLC程序控制和爐體泵的相互切換實現在爐體熔化2階段的時候暫時關閉爐體泵的操作，從而有效的實現智能控制抽真空系統中各階段操作中節約電能的目的。

技術領域

本發明涉及多晶硅鑄錠爐抽真空系統的輔助使用裝置，具體的說是一種用于多晶硅鑄錠爐抽真空系統的智能化節能裝置。

背景技術

現有多晶硅鑄錠爐的抽真空系統裝置中，每一臺多晶硅鑄錠爐均需要配備有一臺爐體泵，現有的爐體泵多設置為機械泵或羅茨泵，現有的鑄錠爐在運行的時候，從爐體開始投爐一直到爐體內熔化2階段的過程中，爐體泵均處于工作狀態，而在抽真空的狀態時又不需要爐體泵的工作，因此多臺爐體泵一直工作導致電源能耗較大，并且多臺爐體泵一直開著產生的噪聲大、廢氣多，節能效果非常差。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種用于多晶硅鑄錠爐抽真空系統的智能化節能裝置。

技術方案：本發明解決問題所采用的技術方案為：一種用于多晶硅鑄錠爐抽真空系統的智能化節能裝置，包括一組爐體、與每一爐體配套使用并通過爐體管道相連的爐體泵以及一個滑閥真空泵；所述的滑閥真空泵通過設置的氣動蝶閥組件連接有滑閥真空泵管道；所述的滑閥真空泵管道又連接安裝有分路管道；而所述的分路管道又連接安裝有鋼絲波紋管道，所述的鋼絲波紋管道上還連接安裝有第一真空快裝止回閥，而所述的第一真空快裝止回閥還連接安裝有真空快裝三通組件，而所述的真空快裝三通組件的兩條支路則分別連通到爐體和爐體泵中，并且其中與爐體泵連通的支路上還安裝有第二真空快裝止回閥；所述的滑閥真空泵管道與分路管道之間還安裝有一主管道；每一爐體均配套設置有一段主管道，全部的主管道相連構成整體主管道。

作為優選，為了保證滑閥真空泵以及滑閥真空管道的穩定性，所述滑閥真空泵的氣動蝶閥組件與真空泵管道之間還安裝有真空快裝止回閥、真空卡箍組件和波紋連接管道。

作為優選，所述的分路管道上還安裝有氣動蝶閥組件以及真空快裝堵板；為了便于控制分路管道以及保證其真空密封性，設置氣動蝶閥組件和堵板。

作為優選，所述的主管道的兩端還分別安裝有法蘭封板，相鄰主管道之間的法蘭封板對接后通過設置的法蘭盤相連構成整體主管道；通過法蘭盤可以方便拆裝連接安裝主管道。

作為優選，所述的鋼絲波紋管道上還設置有真空卡箍組件用于真空快裝三通組件的安裝。

作為優選，所述的爐體以及配套使用的爐體泵共設置有組；并且除了正在使用的滑閥真空泵，還設置有一備用的滑閥真空泵；本裝置通過設置設置一臺使用以及一臺備用的滑閥真空泵可同時實現組鑄錠爐的智能化節能。

有益效果：本發明與現有技術相比，具有以下優點：本發明中設置一臺使用的和一臺備用的滑閥真空泵并通過設置的滑閥真空泵管道、分路管道、鋼絲波紋管道以及對應安裝的氣動蝶閥組件和止回閥，再配合連接爐體泵和鑄錠爐的爐體，通過PLC程序控制和爐體泵的相互切換實現在爐體熔化2階段的時候暫時關閉爐體泵的操作，從而有效的實現智能控制抽真空系統中各階段操作中節約電能的目的，并且在工作過程中產生的噪聲和廢氣比較少；而且本裝置中通過設置的主管道連接多組鑄錠爐和爐體泵，可實現一臺滑閥真空泵控制多組爐體，實現多組爐體的智能化節能目的。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖2為本發明具體使用結構圖；

圖3為圖1中A處放大圖。