[發明專利]一種流化床制備TiN、TiC、TiCN粉體的系統及方法有效
| 申請號: | 201810456074.4 | 申請日: | 2018-05-14 |
| 公開(公告)號: | CN110155964B | 公開(公告)日: | 2020-07-17 |
| 發明(設計)人: | 向茂喬;朱慶山;宋淼 | 申請(專利權)人: | 中國科學院過程工程研究所 |
| 主分類號: | C01B21/076 | 分類號: | C01B21/076 |
| 代理公司: | 北京方安思達知識產權代理有限公司 11472 | 代理人: | 陳琳琳;張紅生 |
| 地址: | 100190 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 流化床 制備 tin tic ticn 系統 方法 | ||
1.一種流化床制備TiN、TiC、TiCN粉體的系統,其特征在于,所述系統包括粉體加料裝置(1)、TiCl4蒸發裝置(2)、加熱裝置(2-1)、預反應流化床(3)、第一旋風分離裝置(4)、第一高溫除塵裝置(5)、蒸發反應流化床(6)、粉體回收裝置(7)、沉積反應流化床(8)、第二旋風分離裝置(9)、第二高溫除塵裝置(10)、第一水冷裝置(11)、粉體收集裝置(12)、第二水冷裝置(13)、TiCl4回收裝置(14)、尾氣處理裝置(15);
所述粉體加料裝置(1)底部進氣口與惰性氣體管道通過氣閥和管道相連接;所述粉體加料裝置(1)底部出料口與所述預反應流化床(3)底部的進料口通過料閥和管道相連接;所述粉體加料裝置(1)的進料口與所述粉體回收裝置(7)的排料口通過料閥和管道相連接;
所述TiCl4蒸發裝置(2)配有所述加熱裝置(2-1);所述TiCl4蒸發裝置(2)的進氣口與氫氣管道、惰性氣體管道通過氣閥和管道相連接;所述TiCl4蒸發裝置(2)的排氣口與所述預反應流化床(3)底部進氣口通過管道相連接;
所述預反應流化床(3)底部進氣口與惰性氣體管道通過氣閥和管道相連接;所述預反應流化床(3)上部排氣口與所述旋風分離裝置(4)上部的進氣口通過管道相連接;所述預反應流化床(3)下部的出料口與所述蒸發反應流化床(6)中的進料口通過料閥和管道相連接;
所述第一旋風分離裝置(4)底部的出料口與所述蒸發反應流化床(6)的進料口通過管道相連接;所述第一旋風分離裝置(4)頂部的排氣口與所述第一高溫除塵裝置(5)進氣口通過管道相連接;所述第一高溫除塵裝置(5)中排料口與所述蒸發反應流化床(6)的進料口通過管道相連接;
所述蒸發反應流化床(6)底部進氣口與惰性氣體管道通過氣閥和管道相連接;所述蒸發反應流化床(6)下部的排料口與所述粉體回收裝置(7)的進料口通過料閥和管道相連接;所述蒸發反應流化床(6)上部的排氣口與所述沉積反應流化床(8)的進氣口通過管道相連接;
所述沉積反應流化床(8)底部的進氣口與氫氣管道、惰性氣體管道、氮源氣體管道、碳源氣體管道通過氣閥和管道相連接;所述沉積反應流化床(8)頂部的排氣口與所述第二旋風分離裝置(9)上部的進氣口通過管道相連接;所述沉積反應流化床(8)下部的排料口與所述粉體收集裝置(12)的進料口通過料閥和管道相連接;
所述第二旋風分離裝置(9)頂部的排氣口與所述第二高溫除塵裝置(10)的進氣口通過管道相連接;所述第二旋風分離裝置(9)底部的排料口與所述粉體收集裝置(12)的進料口通過管道相連接;
所述第二高溫除塵裝置(10)的排料口與所述第一水冷裝置(11)的進料口通過管道相連接;所述第二高溫除塵裝置(10)的排氣口與所述尾氣處理裝置(15)進氣口通過管道相連接;所述第一水冷裝置(11)的排料口與所述粉體收集裝置(12)的進料口通過管道相連接;所述第一水冷裝置(11)有循環冷卻水進出口;
所述第二水冷裝置(13)進氣口與所述第一高溫除塵裝置(5)排氣口通過管道相連接;所述第二水冷裝置(13)排料口與所述TiCl4回收裝置(14)進料口相連接;所述第二水冷裝置(13)排氣口與所述尾氣處理裝置(15)進氣口通過管道相連接;所述第二水冷裝置(13)有循環冷卻水進出口。
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