[發明專利]一種中頻等離子體清洗裝置在審
| 申請號： | 201810451732.0 | 申請日： | 2018-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN108856170A | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 詹鐵錘;程光周;倪紅德;薛進 | 申請（專利權）人： | 合肥杰碩真空科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市經濟技*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 中頻等離子體 清洗裝置 等離子體發生裝置 電極接線柱 插口 進氣裝置 正負電極 鱷魚嘴式 真空室 離子 進氣口 電極安裝板 活性自由基 無損傷清洗 質量流量計 抽氣管路 電極托盤 活性離子 快速插拔 真空腔體 電極 電磁閥 性反應 真空腔 拔松 法蘭 卡緊 視窗 電源 通電 銜接 | ||
【權利要求書】：
1.一種中頻等離子體清洗裝置，包括：進氣裝置、等離子體發生裝置、真空室、抽氣管路，其特征在于，所述進氣裝置包括進氣口、MFC質量流量計、電磁閥，所述等離子體發生裝置包括正負電極和PWM脈寬調制電源，所述正負電極包含電極接線柱、電極安裝板、電極托盤，所述真空室包括視窗法蘭、真空腔門、真空腔體，所述電極接線柱采用鱷魚嘴式的插口設計。
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