[發明專利]一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法

在審

• 申請號: 201810448222.8
• 申請日: 2018-05-11
• 公開（公告）號: CN108588691A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 劉波波;何娟
• 申請（專利權）人: 西安朗賽精密機械有限公司
• 主分類號: C23C18/32
• 分類號: C23C18/32;C23C14/18;C23C18/16;C23C18/18;C23C28/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 高博

1.一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，采用過多層鍍Ni方式，先將鋁碳化硅基材(5)置于真空中采用物理氣相沉積法在鋁碳化硅基材(5)表面的銅打底層(4)上鍍膜制備第二鎳磷打底層(3)，接著在第二鎳磷打底層(3)上進行激活反應后以Ni-P打底制備第一鎳磷打底層(2)，打底前和打底后均進行清洗，最后在第一鎳磷打底層(2)表面采用化學鍍完成鎳磷可焊層(1)，鍍膜完成后進行烘烤熱處理完成鍍Ni。

2.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，制備第二鎳磷打底層(3)的具體過程為：將硫酸鎳、磷酸和濃度40％氫氟酸配制成鍍鎳溶液，控制溫度19～30℃，激活反應時間20～60Sec，然后進行化學鍍鎳磷20～80分鐘完成浸鎳，鍍完后進行水洗。

3.根據權利要求2所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，硫酸鎳、磷酸和40％氫氟酸的質量比為1：1：(1.5～2)。

4.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，制備第一鎳磷打底層(2)的具體過程為：將氯化鎳、硼氫化鈉和乙二胺配置成溶液，控制溫度50～90℃，時間20～60分鐘，進行化學鍍鎳磷，鍍完進行水洗。

5.根據權利要求4所述的一種鋁碳化硅材質的鍍Ni方法，其特征在于，氯化鎳、硼氫化鈉和乙二胺的質量比為1：2：1。

6.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，采用化學鍍完成鎳磷可焊層(1)制備的具體過程為：將硫酸鎳、磷酸和40％氫氟酸配制成鍍鎳溶液，控制溫度19～30℃，時間60～120min進行化學鍍制備鎳磷可焊接層(1)。

7.根據權利要求6所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，硫酸鎳、磷酸和40％氫氟酸的質量比為1：1：(1.5～2)。

8.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，第二鎳磷打底層(3)的厚度為1～5um，銅打底層(4)的厚度為1～3um，第一鎳磷打底層(2)的厚度為1～3um，鎳磷可焊層(1)的厚度為5～10um。

9.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，清洗具體為：先通過40g/L的丙酮除油劑除油并干燥；然后在30～70℃水洗1～10min，通過弱酸鹽進行清洗，去污活化表面，溫度19～30℃，時間20～50Sec。

10.根據權利要求1所述的一種鋁碳化硅材料的鍍Ni方法，其特征在于，將鍍完的樣品在100～200℃的溫度下進行加熱處理60～120min完成烘烤。