[發明專利]激光清潔裝置及方法

有效

• 申請號: 201810447134.6
• 申請日: 2018-05-11
• 公開（公告）號: CN110369401B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 陳峻明;黃建融;林于中;曾介亭;李閔凱
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;G02F1/35
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種激光清潔裝置，用于清潔試片，該裝置包括：

激光模塊，其用以提供激光光束；

激光光束調控模塊，其同時包含有能量補償單元與發散角優化單元兩者，其中，該發散角優化單元用以調整該激光光束的發散角，且該能量補償單元依據該試片的清潔位置補償該激光光束所需的激光能量；

波長切換單元，其介于該激光模塊和同時包含有該能量補償單元與該發散角優化單元兩者的該激光光束調控模塊之間以依據制作工藝需求切換該激光光束輸出的波長；

至少一光學元件，其導引來自該波長切換單元的該激光光束通過同時包含有該能量補償單元與該發散角優化單元兩者的該激光光束調控模塊；以及

光路傳導模塊與具有開口的吸嘴，該激光模塊所提供的該激光光束依序通過該波長切換單元、同時包含有該能量補償單元與該發散角優化單元兩者的該激光光束調控模塊、該光路傳導模塊和該吸嘴的開口，該吸嘴的開口的第一直徑小于或等于該光路傳導模塊所傳導的該激光光束的第二直徑，且該光路傳導模塊所傳導的該激光光束通過具有小于或等于該第二直徑的該第一直徑的該吸嘴的開口后形成一具有穩定激光能量的穩定激光光束。

2.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該波長切換單元包含至少一反射鏡及一倍頻晶體。

3.根據權利要求2所述的激光清潔裝置，其特征為，該倍頻晶體產生具有波長532nm的綠光與波長1064nm的紅外光激光光束，再經分光鏡分光產生具有波長532nm的綠光激光光束輸出至該激光光束調控模塊，以作第一次清潔該試片的探針的尖部含有錫(Sn)金屬的污層。

4.根據權利要求3所述的激光清潔裝置，其特征為，該波長切換單元切換其內的反射鏡的角度，使該激光模塊的激光光束通過該反射鏡的下方，并以具有波長1064nm的紅外光激光光束輸出至該激光光束調控模塊內，以作第二次清潔該試片的探針的尖部含有氧化層SnO₂的污層。

5.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該波長切換單元將該激光光束經倍頻晶體產生具有波長532nm的綠光與波長1064nm的紅外光激光光束，經反射鏡輸出至該激光光束調控模塊，作一次清潔該試片的探針的尖部含有錫(Sn)金屬與氧化層SnO₂的污層。

6.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該激光模塊、激光光束調控模塊與光學元件設置于第一機臺內。

7.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該激光模塊、能量補償單元與發散角優化單元分別設于載體上方的不同高度位置。

8.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該發散角優化單元用于縮小該激光光束的發散角以產生準直激光光束。

9.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該發散角優化單元包括第一鏡片、第二鏡片與第三鏡片。

10.根據權利要求9所述的激光清潔裝置，其特征為，該第一鏡片為凹透鏡，而該第二鏡片與該第三鏡片均為凸透鏡。

11.根據權利要求9所述的激光清潔裝置，其特征為，該發散角優化單元通過調整該第二鏡片與該第三鏡片的間距，借此縮小該激光模塊所提供的該激光光束的發散角以產生準直激光光束。

12.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該能量補償單元包含有半波片與分光鏡，并依據該試片的不同清潔位置將該半波片旋轉至所需角度，且通過該半波片的旋轉角度與該分光鏡補償激光能量而形成補償激光光束。

13.根據權利要求1所述的激光清潔裝置，其特征為，該裝置還包括導光臂，其固定于L型板的通孔上，并傳導來自該能量補償單元與該發散角優化單元的至少其中一者的激光光束，以借由該激光光束清潔該試片。