[發明專利]感光性樹脂組合物、光固化圖案及圖像顯示裝置有效
| 申請號: | 201810444442.3 | 申請日: | 2018-05-10 |
| 公開(公告)號: | CN110471255B | 公開(公告)日: | 2022-05-06 |
| 發明(設計)人: | 崔碩均;曺伯鉉 | 申請(專利權)人: | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 金鮮英;宋海花 |
| 地址: | 韓國全*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 樹脂 組合 光固化 圖案 圖像 顯示裝置 | ||
本發明提供感光性樹脂組合物、光固化圖案及圖像顯示裝置,更詳細而言,上述感光性樹脂組合物包含堿溶性樹脂、聚合性化合物、光聚合引發劑及溶劑,上述光聚合引發劑包含特定結構的化合物,從而在低溫固化時顯示出優異的反應性,由上述感光性樹脂組合物制造的圖案具有優異的耐化學性、耐熱性等良好的耐久性,且在具有優異的基板密合力和留膜率的同時靈敏度也優異。
技術領域
本發明涉及感光性樹脂組合物及由其形成的光固化圖案。更詳細而言,涉及包含光聚合引發劑的感光性樹脂組合物及由該感光性樹脂組合物形成的光固化圖案及圖像顯示裝置。
背景技術
在顯示器領域中,感光性樹脂組合物用于形成光致抗蝕劑、絕緣膜、保護膜、黑矩陣、柱間隔物(column spacer)等多種多樣的光固化圖案。具體而言,可以將感光性樹脂組合物通過光刻工序選擇性地曝光和顯影而形成所希望的光固化圖案,為了在該過程中提高工序上的收率且提高適用對象的物性,需要具有高靈敏度的感光性樹脂組合物。
感光性樹脂組合物的圖案形成基于通過光刻、即光反應而發生的高分子的極性變化及交聯反應。特別是,利用曝光后對于堿性水溶液等溶劑的溶解性的變化特性。
利用感光性樹脂組合物的圖案形成根據經感光的部分在顯影時的溶解度分為正型和負型。正型光致抗蝕劑是經曝光的部分在顯影液中發生溶解,負型光致抗蝕劑是經曝光的部分在顯影液中不溶解、未經曝光的部分發生溶解而形成圖案的方式,正型和負型所使用的粘合劑樹脂、交聯劑等彼此不同。
如果由感光性樹脂組合物形成的涂膜或圖案與基材的密合性差,則例如在將涂布感光性樹脂組合物而形成的抗蝕劑膜進行圖案曝光而顯影時,可能發生所形成的抗蝕劑圖案的破壞或剝離,且在蝕刻時也發生圖案破壞或剝離等問題從而量產工藝中的制品收率會降低。此外,隨著應用上述感光性樹脂組合物的顯示裝置小型化,為了形成微細線寬的光固化圖案,要求提高曝光工序的分辨率。
例如,韓國注冊專利第10-1302508號公開了包含使用丙烯酸環己酯系單體而聚合的共聚物的負型感光性樹脂組合物。
現有技術文獻
專利文獻
韓國注冊專利第10-1302508號
發明內容
所要解決的課題
本發明的一個課題是提供具有優異的基板密合力和留膜率并且能夠實現高靈敏度的光固化圖案的感光性樹脂組合物。
此外,本發明的一個課題是提供由上述感光性樹脂組合物制造的光固化圖案和包含上述光固化圖案的圖像顯示裝置。
解決課題的方法
1.一種感光性樹脂組合物,其包含堿溶性樹脂、聚合性化合物、光聚合引發劑及溶劑,上述光聚合引發劑包含下述化學式1所表示的化合物,
[化學式1]
(化學式1中,A為硝基或氰基,R1或R2各自獨立地為碳原子數1~20的烷基,R3為碳原子數1~20的烷基、碳原子數6~20的芳基或碳原子數3~20的環烷基,R4為位于鄰位、間位或對位的下述化學式2所表示的取代基)
[化學式2]
(化學式2中,*為結合部,R5、R6或R7各自獨立地為碳原子數1~3的烷基)。
2.如1所述的感光性樹脂組合物,上述光聚合引發劑還包含選自由苯乙酮系化合物和聯咪唑系化合物組成的組中的至少一種。
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