[發(fā)明專利]一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810444266.3
• 申請日: 2018-05-10
• 公開（公告）號: CN108620700B
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設計）人: 郭鐘寧;詹順達;羅紅平;陳曉磊;吳明;邢乾鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學
• 主分類號: B23H3/00
• 分類號: B23H3/00;B23H9/00
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張春水;唐京橋<國際申請>=<國際公布>

1.一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置，其特征在于，包括供電模塊、電解液模塊、夾具、上陰極塊、待加工工件、上遮蔽模板、下遮蔽模板和下陰極塊；

所述夾具內(nèi)形成腔體，所述腔體設置有入液口和出液口，用于輸入輸出電解液；

所述上陰極塊、所述上遮蔽模板、所述待加工工件、所述下遮蔽模板和所述下陰極塊依次貼合形成五層結(jié)構(gòu)，所述五層結(jié)構(gòu)被所述夾具壓緊，其中，所述夾具具體包括下夾具體和上夾具體，所述下夾具體和所述上夾具體能夠鎖緊組合形成所述夾具；所述下夾具體和所述上夾具體均開有所述入液口和所述出液口；

所述五層結(jié)構(gòu)設置在所述腔體內(nèi)部，所述上陰極塊和所述下陰極塊與所述腔體內(nèi)壁貼合，所述上遮蔽模板、所述待加工工件、所述下遮蔽模板的四邊與所述腔體內(nèi)壁貼合，用于分隔所述腔體；

所述上遮蔽模板和所述下遮蔽模板都開有上下貫穿的微流道，所述上陰極塊和所述下陰極塊與所述微流道對齊，使得所述電解液從分隔的所述腔體一邊通過所述微流道流到另一邊時加工所述待加工工件，其中，上陰極塊或下陰極塊對齊于微流道中央，微流道上超出上陰極塊或下陰極塊的部分為微流道入液口或微流道出液口，用于連通分隔的腔體；

所述供電模塊的正極連接所述待加工工件，負極連接所述上陰極塊和所述下陰極塊；

所述電解液模塊連通所述入液口和所述出液口，用于輸送并回收電解液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置，其特征在于，所述微流道具體為呈陣列排布的貫穿槽道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置，其特征在于，所述電解液模塊包括電解液箱和水泵；

所述電解液箱通過所述水泵連通所述入液口；

所述電解液箱還連通所述出液口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置，其特征在于，所述下夾具體和所述上夾具體通過螺栓鎖緊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置，其特征在于，所述入液口具體為兩個，包括上入液口和下入液口，所述出液口具體為兩個，包括上出液口和下出液口；

所述下夾具體上開有所述下入液口和所述下出液口；

所述上夾具體上開有所述上入液口和所述上出液口。

6.一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的方法，基于如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置進行加工，其特征在于，包括：

安裝如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置；

通過電解液模塊循環(huán)輸送和回收電解液，同時接通供電模塊進行加工。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種雙面同步電解加工陣列微溝槽的方法，其特征在于，所述安裝雙面同步電解加工陣列微溝槽的裝置具體包括：

將上陰極塊、上遮蔽模板、待加工工件、下遮蔽模板和下陰極塊按順序放置于夾具內(nèi)部；

鎖緊夾具，將電解液模塊連通入液口和出液口。