[發(fā)明專利]物料灌裝裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810442928.3
• 申請日: 2018-05-10
• 公開（公告）號: CN108506733A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡巖馨;陸平;汪浩;郭威
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇南大光電材料股份有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08;F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國

本發(fā)明涉及物料灌裝裝置，包括待灌裝的容器、物料輸送管路系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、尾氣管路系統(tǒng)以及氮氣管路系統(tǒng)，物料輸送管路系統(tǒng)將物料源與容器連接，尾氣管路系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)以及氮氣管路系統(tǒng)與物料輸送管路系統(tǒng)和容器連通；物料輸送管路系統(tǒng)包含物料輸送管路以及設(shè)置于物料輸送管路上的第一閥門，物料輸送管路的物料入口端連接至物料源，所述物料輸送管路的物料出口端連接至容器的物料入口，一控制裝置與第一閥門連接并控制所述第一閥門的開閉。使物料的灌裝作業(yè)能夠在普通環(huán)境中進(jìn)行，為物料的灌裝提供安全的氣體氛圍，實現(xiàn)物料的安全灌裝，不受手套箱等附加設(shè)備的限制，操作便捷、安全。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物料灌裝裝置，屬于化工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

MO源即高純金屬有機化合物，是采用金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)進(jìn)行外延生長時的支撐材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半導(dǎo)體超薄型膜材料，可用來生產(chǎn)LED外延片、HEMT器件、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等；是發(fā)展光電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料之一，也是生產(chǎn)高亮度、超高亮度發(fā)光材料及大規(guī)模集成電路的必備原料。MO源具有非常活潑的化學(xué)性質(zhì)，對空氣和水汽極為敏感，在空氣中會瞬間自燃，遇水則發(fā)生猛烈爆炸。因此，MO源的灌裝需要在密閉且無O₂、無H₂O的環(huán)境下進(jìn)行。

現(xiàn)有技術(shù)中，公知的MO源灌裝方式是在無氧無水惰性氣氛手套箱內(nèi)灌裝。手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內(nèi)，并循環(huán)過濾掉其中的活性物質(zhì)的實驗室設(shè)備，其主要由主箱體、過渡室兩部分組成。主箱體上有兩個或兩個以上手套操作接口，以便于操作者操作。另外，在箱體的前面或前后設(shè)有觀察窗，操作者能夠清楚地觀察到箱體內(nèi)的操作過程，使得操作過程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。在灌裝的過程中，由于MO源的部分種類具有極易揮發(fā)的特性，因此，容易使得手套箱內(nèi)充斥氣態(tài)MO源，這使得手套箱中的吸附物(如有機溶劑吸附柱)大量被消耗，需要頻繁更換。

隨著市場經(jīng)濟的快速發(fā)展、電子技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大，MO源的市場需求量大幅度增加，用于灌裝MO源的鋼瓶的規(guī)格也隨之不斷放大，由最初的500g、1000g放大到8kg、16kg，甚至更大，由于灌裝之后的鋼瓶較重，因此在人工移動鋼瓶的過程中，鋼瓶容易滑脫從而損壞手套箱，進(jìn)而有可能引發(fā)MO源燃燒，這使得手套箱內(nèi)純手工操作變得更加困難，存在較大的安全隱患。

由此可見，傳統(tǒng)的人工灌裝方式已難以滿足需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種物料灌裝裝置，在不需要手套箱等附加設(shè)備的情況下，能夠?qū)ξ锪线M(jìn)行安全灌裝。

本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

物料灌裝裝置，特點是：包括待灌裝的容器、物料輸送管路系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、尾氣管路系統(tǒng)以及氮氣管路系統(tǒng)，所述物料輸送管路系統(tǒng)將物料源與容器連接，所述尾氣管路系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)以及氮氣管路系統(tǒng)與物料輸送管路系統(tǒng)和容器連通；

所述物料輸送管路系統(tǒng)包含物料輸送管路以及設(shè)置于物料輸送管路上的第一閥門，所述物料輸送管路的物料入口端連接至物料源，所述物料輸送管路的物料出口端連接至容器的物料入口，一控制裝置與第一閥門連接并控制所述第一閥門的開閉。

進(jìn)一步地，上述的物料灌裝裝置，其中，所述第一閥門為氣動閥，氣動閥與一電磁閥連接，控制裝置與電磁閥電連接并通過電磁閥控制氣動閥的開閉。

進(jìn)一步地，上述的物料灌裝裝置，其中，物料輸送管路與容器之間安裝一個質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量計連接控制裝置，將質(zhì)量信號傳遞給控制裝置，當(dāng)質(zhì)量信號指示容器的重量達(dá)到預(yù)定值時，控制裝置控制第一閥門關(guān)閉。