[發明專利]一種高精度激光測量系統的誤差檢測和分離方法

有效

• 申請號: 201810440024.7
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN108548488B
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 郭正剛;李澤;孫陽陽;張良;牛帥旗;馮盼州;徐董輝
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 陳玲玉

1.一種高精度激光測量系統的誤差檢測和分離方法，其特征在于，包括如下步驟：

第一步，搭建誤差檢測和分離裝置；使用普通半導體激光器作為光源，光束垂直照射在分光棱鏡表面，激光束分離成兩束呈90度的光分別垂直照射在兩個四象限探測器的中心位置；

第二步，搭建的裝置只針對Y軸單一方向上的誤差檢測和分離計算；所述的測量系統誤差由激光漂移誤差E_L和系統結構誤差E_M構成，激光漂移誤差E_L和系統結構誤差E_M在四象限探測器Y坐標軸上分別用E_Ly_z，E_My_z表示，Y軸上的總誤差Ey_z等于E_Ly_z、E_My_z在Y軸上的線性疊加；E_My_z對兩個四象限探測器Y軸影響是相同的，即E_My₁＝E_My₂；E_Ly_z對兩個四象限探測器Y軸的影響與它們到分光棱鏡的距離呈線性關系且方向相反，即Y軸上的實時E y_z等于對應光斑在四象限探測器實時測量的坐標值Y_z；所述y_z和Y_z中右下角標z的數字表示對應四象限探測器的編號,z取1或2；L與M表示分光棱鏡到四象限探測器①和四象限探測器②距離；k₃是線性補償系數；兩個四象限探測器在各自坐標系的Y軸誤差計算和分離如下：

2.根據權利要求1所述的一種高精度激光測量系統的誤差檢測和分離方法，其特征在于，兩四象限探測器分別距離分光棱鏡的距離大于等于150mm。

3.根據權利要求1或2所述的一種高精度激光測量系統的誤差檢測和分離方法，其特征在于，所述普通半導體激光器的功率為5mW，光束直徑為3mm。