[發(fā)明專利]大面積有機(jī)蒸氣射流(OVJP)沉積用的分段印刷桿

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810435695.4
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN108807723B
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·E·奎因;G·麥格勞;G·科塔斯
• 申請（專利權(quán)）人: 環(huán)球展覽公司
• 主分類號: H10K71/00
• 分類號: H10K71/00;H10K71/16
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 李琳

1.一種供有機(jī)蒸氣射流OVJP沉積用的印刷桿，所述印刷桿包含：

多個印刷頭段，所述多個印刷頭段各自包含OVJP印刷頭；

多個飛行高度距離傳感器，所述多個飛行高度距離傳感器各自經(jīng)配置以測量所述印刷桿下方所安置的襯底與所述印刷頭段中的至少一個的一部分之間的距離；和

多個致動器，其經(jīng)配置以根據(jù)所述襯底與所述印刷桿之間的一或多種距離來調(diào)節(jié)所述多個印刷頭段中的一或多個的位置和/或定向，所述距離由所述多個飛行高度距離傳感器中的一或多個測量，其中所述多個致動器中的每個致動器連接到所述多個印刷頭段中的至少兩個并且經(jīng)配置以控制所述多個印刷頭段中的至少兩個的所述位置和/或定向，

其中當(dāng)操作所述印刷桿以使材料沉積于所述襯底上時，所述多個印刷頭段在與所述印刷桿相對于所述襯底的移動方向垂直的方向上布置成兩行，

其中所述多個印刷頭段安置成所述行，使得當(dāng)操作所述印刷桿以使材料沉積于所述襯底上時，每一行中的全部OVJP印刷頭的印刷區(qū)域在所述襯底上的像素的單一列上印刷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，其中每個OVJP印刷頭包含與載氣源和有機(jī)材料蒸氣源處于流體連通的OVJP沉積噴嘴。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，其中所述多個致動器中的每一個根據(jù)所述多個飛行高度傳感器中的兩個或更多個所獲得的距離測量值來控制所述多個印刷頭段中的所述至少兩個的所述位置和/或定向。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，其中所述多個致動器中的每一個根據(jù)所述至少一個飛行高度傳感器中的至少一個所獲得的距離測量值來控制所述多個印刷頭段中的所述至少兩個的所述位置和/或定向。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，其中所述多個印刷頭段中的每個印刷頭段能獨(dú)立于所述多個印刷頭段中的每個其它印刷頭段移動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的印刷桿，其中每個印刷頭段至少在與所述襯底正交的方向上能獨(dú)立于每個其它印刷頭段移動，使得所述每個印刷頭段距所述襯底的距離能獨(dú)立于每個其它印刷頭段距所述襯底的距離加以調(diào)節(jié)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，進(jìn)一步包含一或多個氣體通道，所述氣體通道經(jīng)布置以將有機(jī)材料和/或載氣傳輸?shù)剿龆鄠€印刷頭段。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，進(jìn)一步包含一或多個真空通道，所述真空通道經(jīng)布置以便當(dāng)操作所述印刷桿以使材料沉積于所述襯底上時，從所述印刷桿與所述襯底之間的區(qū)域去除材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷桿，進(jìn)一步包含鄰近于所述多個印刷頭段安置的冷板。

10.一種使用有機(jī)蒸氣射流OVJP沉積制造裝置的方法，所述方法包含：

操作包括多個印刷頭段的印刷桿以使材料沉積于襯底上，所述多個印刷頭段中的每一個包含OVJP印刷頭；

從多個飛行高度距離傳感器中的每一個接收距離測量值，所述多個飛行高度距離傳感器中的每一個經(jīng)配置以測量印刷桿下方所安置的襯底與所述印刷頭段中的至少一個的一部分之間的距離；和

根據(jù)所述距離測量值中的一或多個來啟動多個致動器中的一或多個致動器以調(diào)節(jié)所述多個印刷頭段中的一或多個的位置和/或定向，其中所述多個致動器中的每個致動器連接到所述多個印刷頭段中的至少兩個并且經(jīng)配置以控制所述多個印刷頭段中的至少兩個的所述位置和/或定向，

其中當(dāng)操作所述印刷桿以使材料沉積于所述襯底上時，所述多個印刷頭段在與所述印刷桿相對于所述襯底的移動方向垂直的方向上布置成兩行，

其中所述多個印刷頭段安置成所述行，使得當(dāng)操作所述印刷桿以使材料沉積于所述襯底上時，每一行中的全部OVJP印刷頭的印刷區(qū)域在所述襯底上的像素的單一列上印刷。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，所述方法進(jìn)一步包含在所述移動方向上使所述襯底相對于所述多個印刷頭段移動、使所述多個印刷頭段相對于所述襯底移動，或其組合。