[發(fā)明專利]一種克爾靈敏度測量裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810429230.8
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN108344699A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發(fā)明（設計）人: 張向平;方曉華;趙永建
• 申請（專利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學院
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種克爾靈敏度測量裝置，主要包括激光器、非球面鏡I、孔徑光闌、偏振器、非球面鏡II、分束器、1/2波片、1/4波片、沃拉斯頓棱鏡、光電探測器I、光電探測器II、物鏡臺、物鏡、非球面鏡III、樣品、樣品臺、磁鐵、電流表、電源、示波器、計算機、檢偏器、目鏡，所述激光器的波長在400納米到800納米范圍可調(diào)，xyz為空間直角坐標系，zx為水平面，xy平面與水平面垂直，所述激光器、非球面鏡I、孔徑光闌、偏振器、非球面鏡II、分束器、物鏡及非球面鏡III組成入射光路，所述樣品、非球面鏡III、物鏡、分束器、1/2波片、1/4波片、沃拉斯頓棱鏡、光電探測器I及光電探測器II組成反射光路，所述物鏡、分束器、檢偏器及目鏡位于同一直線上且組成檢驗光路，激光器發(fā)出的光依次經(jīng)過非球面鏡I、孔徑光闌、偏振器、非球面鏡II后被分束器偏向，并依次經(jīng)過物鏡、非球面鏡III后射到樣品表面，被樣品反射的反射光依次經(jīng)過非球面鏡III、物鏡后被分束器偏向，并依次經(jīng)過1/2波片、1/4波片后在沃拉斯頓棱鏡中分成兩束分別為S偏振和P偏振的正交光，S偏振光進入光電探測器I，P偏振光進入光電探測器II，光電探測器I中探測到的光強為I_S，光電探測器II中探測到的光強為I_P，磁鐵、電流表、電源、示波器、計算機之間電纜連接，光電探測器I與計算機之間電纜連接，光電探測器II與計算機之間電纜連接，磁鐵產(chǎn)生的磁場沿x軸方向，所述克爾靈敏度包括純極向克爾靈敏度、豎直方向的縱向克爾靈敏度和橫向克爾靈敏度，其特征是：所述孔徑光闌為四種孔徑模式的組合，包括孔徑模式I、孔徑模式II、孔徑模式III、孔徑模式IV，所述四種孔徑模式中的透光區(qū)域的大小及位置能夠進行微調(diào)，通過快門控制來達到不同的孔徑模式，以能夠控制入射到樣品表面的光束的入射角，通過調(diào)整偏振器、非球面鏡II、分束器II，能夠使得孔徑光闌所處的平面與物鏡的背聚焦平面共軛，孔徑光闌的半徑為20mm，其中心在xy平面內(nèi)的坐標為(0，0)，孔徑模式I的開孔為正方形，所述正方形的中心位置在(0mm，0mm)，邊長在1mm至10mm可調(diào)；孔徑模式II的開孔為長方形，所述長方形的中心位置在(0mm，-14mm)，x方向邊長在1mm至3mm范圍可調(diào)，y方向邊長在2mm至5mm可調(diào)；孔徑模式III的開孔為長方形，所述長方形的中心位置在(14mm，0mm)，y方向邊長在1mm至3mm范圍可調(diào)，x方向邊長在2mm至5mm可調(diào)；孔徑模式IV的開孔為長方形，所述長方形的中心位置在(0mm，10mm)，y方向邊長在1mm至3mm范圍可調(diào)，x方向邊長在2mm至5mm可調(diào)，通過調(diào)整檢偏器方向及位置，能夠在目鏡中觀測到物鏡的背聚焦平面上出現(xiàn)的錐光干涉圖。