[發(fā)明專(zhuān)利]一種表面納米結(jié)構(gòu)磁性測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810429089.1
• 申請(qǐng)日: 2018-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108414952A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范曉雯;張向平;方蓉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): G01R33/032
• 分類(lèi)號(hào): G01R33/032;G01R33/12;G01Q60/38
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種表面納米結(jié)構(gòu)磁性測(cè)量裝置，主要包括激光器、延時(shí)器、1/4波片、凹透鏡、凸透鏡I、平面鏡、偏振片、分束器、凸透鏡II、透鏡臺(tái)、原子力顯微鏡I、探針I(yè)、透鏡座、物鏡、樣品、霍爾片、樣品臺(tái)、信號(hào)發(fā)生器、示波器、探測(cè)器、磁體、前置放大器、差分放大器、補(bǔ)償器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、計(jì)算機(jī)、原子力顯微鏡II、探針I(yè)I、入射光路及反射光路，xyz為空間直角坐標(biāo)系、xy平面為水平面，所述原子力顯微鏡II與原子力顯微鏡I結(jié)構(gòu)相同，所述探針I(yè)位于原子力顯微鏡I下端，所述探針I(yè)I位于原子力顯微鏡II下端，所述物鏡位于透鏡座下端，所述探針I(yè)和探針I(yè)I為相同外形尺寸的原子力顯微鏡探針，所述激光器發(fā)射的激光束依次經(jīng)延時(shí)器、1/4波片、凹透鏡、凸透鏡I、平面鏡、偏振片、分束器、凸透鏡II、透鏡臺(tái)、原子力顯微鏡I、探針I(yè)，從而形成入射光路，所述激光束照射到樣品表面產(chǎn)生的反射光依次經(jīng)探針I(yè)、原子力顯微鏡I、透鏡臺(tái)、凸透鏡II、分束器，從而形成反射光路，所述反射光被分束器偏轉(zhuǎn)至所述探測(cè)器，所述透鏡臺(tái)為直徑十厘米的透光圓盤(pán)且具有中心軸，所述原子力顯微鏡I、透鏡座、原子力顯微鏡II分別位于透鏡臺(tái)下面、且均能夠相對(duì)于透鏡臺(tái)的位置微調(diào)，當(dāng)透鏡臺(tái)繞其中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，能夠分別將原子力顯微鏡I或透鏡座或原子力顯微鏡II置于樣品正上方，所述探針I(yè)中具有通孔，所述探針I(yè)I為接觸型原子力顯微鏡探針，所述探針I(yè)、探針I(yè)I的外形為圓臺(tái)，所述圓臺(tái)的上底面直徑為2微米、下底面直徑為1微米，所述圓臺(tái)軸線垂直于水平面，霍爾片位于樣品臺(tái)上，通過(guò)磁控濺射方法將樣品直接接觸地制備于霍爾片上表面，所述霍爾片長(zhǎng)為80微米、寬為50微米、厚度為150納米，特征阻抗為50歐姆，所述樣品長(zhǎng)為10微米、寬為9微米、厚度為50納米，

其特征是：所述激光器電纜連接計(jì)算機(jī)，所述磁體、信號(hào)發(fā)生器、計(jì)算機(jī)依次電纜連接，所述示波器電纜連接霍爾片，所述探測(cè)器、前置放大器、差分放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、計(jì)算機(jī)依次電纜連接，所述補(bǔ)償器電纜連接差分放大器；經(jīng)過(guò)所述探針I(yè)的圓臺(tái)下底面周邊上最靠x軸正方向的一點(diǎn)，斜向軸線一側(cè)切掉一楔形塊，探針I(yè)下底面形成一個(gè)與水平面成五度角的斜面，使得探針I(yè)在x軸正方向一側(cè)更接近樣品表面，能夠使得探針I(yè)沿x軸正方向在樣品表面掃描時(shí)不易造成針尖變形，從而避免通孔損壞；所述磁體由四個(gè)相同的子磁體通過(guò)電纜連接組成，四個(gè)子磁體分別位于一個(gè)邊長(zhǎng)為20厘米的正方形的頂點(diǎn)，所述霍爾片及樣品位于所述正方形的中間，樣品臺(tái)、霍爾片及樣品能夠整體在xy平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)范圍為正負(fù)45度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面納米結(jié)構(gòu)磁性測(cè)量裝置，其特征是：所述探針I(yè)的所述通孔的直徑為500納米。