[發明專利]具有直線結構的單透鏡激光位移測頭

在審

• 申請號: 201810425758.8
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN108362210A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 張欣婷;亢磊;吳倩倩;李玉瑤;張婉怡;劉喆;李妍
• 申請（專利權）人: 長春理工大學光電信息學院
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 王丹陽

1.一種具有直線結構的單透鏡激光位移測頭，其特征在于，光電探測器(7)、分束鏡(8)、透鏡(9)依次同軸排列，光電探測器(7)的感光面位于透鏡(9)像面處；激光器(10)出光方向與光電探測器(7)、分束鏡(8)、透鏡(9)的共同光軸垂直，并與分束鏡(8)工作鏡面呈45°角；處理器(1)分別與光電探測器(7)、激光器(10)電連接；分束鏡(8)工作鏡面鍍有測量光波長半透半反膜；透鏡(9)為單正透鏡，朝向分束鏡(8)的鏡面為偶次非球面，另一個鏡面為球面。

2.根據權利要求1所述的具有直線結構的單透鏡激光位移測頭，其特征在于，所述光電探測器(7)選用線陣CCD或者PSD。

3.根據權利要求1所述的具有直線結構的單透鏡激光位移測頭，其特征在于，激光器(10)采用半導體激光器，激光波長λ為650nm，光功率大于10mW。

4.根據權利要求1所述的具有直線結構的單透鏡激光位移測頭，其特征在于，透鏡(9)焦距f為20mm，入瞳直徑4mm，視場角2ω為4°。