[發明專利]靶材組件及加工方法

有效

• 申請號: 201810421900.1
• 申請日: 2018-05-04
• 公開（公告）號: CN108581169B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;張良進
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K20/02
• 分類號: B23K20/02;B23K20/26
• 代理公司: 11371 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 梁斌

1.一種靶材組件，其特征在于，包括：

靶材，所述靶材的表面包括正面以及背面，所述靶材的正面為所述靶材的濺射面，所述靶材的背面與所述靶材的正面位置相對，所述靶材的背面凸出設置有的第一臺階，所述第一臺階的側面為斜面；

背板，用于承載所述靶材，所述背板的正面設置有與所述第一臺階相匹配的第一凹槽，所述靶材的背面與所述背板的正面通過擴散焊接連接且所述第一臺階嵌入在所述第一凹槽內；

所述靶材的表面還包括側面，所述靶材的側面分別與所述靶材的正面、所述靶材的背面以及所述背板的正面相鄰，所述靶材的側面與所述背板的正面的交界位置設置有經噴砂處理形成的環繞所述濺射面的噴砂區域；

所述噴砂區域的第一噴砂線上的各點到所述濺射面的中心點的距離相同且所述噴砂區域的第二噴砂線上的各點到所述濺射面的中心點的距離相同，其中，所述第一噴砂線為所述噴砂區域的靠近所述濺射面的邊界線，所述第二噴砂線為所述噴砂區域的遠離所述濺射面的邊界線，所述第二噴砂線高出所述背板的臺階面0.05mm，所述臺階面為所述背板的正面中未被所述噴砂區域環繞的部分表面。

2.根據權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述濺射面與所述靶材的側面的交界位置被構造為R角。

3.根據權利要求2所述的靶材組件，其特征在于，所述第一噴砂線與所述R角接平。

4.根據權利要求1－3中任一權項所述的靶材組件，其特征在于，所述第一臺階凸出于所述靶材的背面的高度為1.6mm至2.5mm。

5.根據權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材的材料為鈦，所述背板的材料為鋁。

6.一種靶材組件加工方法，其特征在于，所述靶材組件包括靶材以及背板，所述靶材包括正面以及背面，所述靶材的正面為所述靶材的濺射面，所述靶材的背面與所述靶材的正面位置相對，所述方法包括：

在所述靶材的背面車削出凸出于所述靶材的背面的第一臺階，所述第一臺階的側面為斜面；

在所述背板的正面按照與所述第一臺階相匹配的形狀車削出凹陷于所述背板的正面的第一凹槽；

將所述第一臺階嵌入在所述第一凹槽內，并將所述靶材的背面與所述背板的正面通過擴散焊接連接在一起；

在所述靶材的側面與所述背板的正面的交界位置進行噴砂處理，以形成環繞所述濺射面的噴砂區域；

其中，所述靶材的側面分別與所述靶材的正面、所述靶材的背面以及所述背板的正面相鄰，所述噴砂區域的第一噴砂線上的各點到所述濺射面的中心點的距離相同且所述噴砂區域的第二噴砂線上的各點到所述濺射面的中心點的距離相同，所述第一噴砂線為所述噴砂區域的靠近所述濺射面的邊界線，所述第二噴砂線為所述噴砂區域的遠離所述濺射面的邊界線，所述第二噴砂線高出所述背板的臺階面0.05mm，所述臺階面為所述背板的正面中未被所述噴砂區域環繞的部分表面。

7.根據權利要求6所述的靶材組件加工方法，其特征在于，對所述靶材的背面進行車削以及對所述背板的正面進行車削均采用80度角的外圓刀，且車削過程的加工參數包括：切削速度25m/min，進給量0.1mm/r，吃刀量0.1mm，主軸轉速250r/min。