[發明專利]一種多工位移動型顯微鏡檢測設備

在審

• 申請號: 201810420648.2
• 申請日: 2018-05-04
• 公開（公告）號: CN108646395A
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 賈祺
• 申請（專利權）人: 江蘇羿駿自動化科技有限公司
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G01N21/00;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多工位移動型顯微鏡檢測設備，包括底座，其特征在于：所述底座表面設有輸送硅晶片的輸送裝置，端部設有用于裝夾硅晶片的定位夾具，側部設有控制箱，所述控制箱內側固定連接有架于輸送裝置上方的固定橋臂，所述橋臂端部連接有多功能顯微鏡，所述多功能顯微鏡正對于輸送裝置；

所述輸送裝置包括與定位夾具背面固定連接的沿Y軸軸向運動的Y軸運動機構、與Y軸運動機構固定連接的沿Z軸軸向運動的Z軸運動機構以及架設于底座表面的沿X軸軸向運動的X軸運動機構，所述X軸運動機構兩側設有手動滑動機構，所述Y軸運動機構包括固定連接于定位夾具背面的第一滑塊，所述第一滑塊底部與Y軸滑軌滑動連接，所述Y軸滑軌設于定位夾具底部，且滑道設于定位夾具內側，所述第一滑塊背面與Z軸滑軌滑動連接，所述Z軸運動機構包括設于定位夾具外側的Z軸滑軌，所述Z軸滑軌豎直設置，且其表面滑動連接第一滑塊，所述X軸運動機構包括正對于定位夾具出口的X軸滑軌，所述X軸滑軌表面滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊表面固定連接有用于吸附硅晶片的吸附夾具，所述手動滑動機構包括設于X軸滑軌兩側的滑動平臺，所述滑動平臺沿X軸軸向設置，其底部設有用于驅使滑動平臺滑動的移動盤，所述移動盤底部設有支撐架，所述支撐架置于底座上方，所述滑動平臺底部設有L形連接塊，所述L形連接塊前端設有促使滑動平臺移動的手動啟動按鈕。

2.根據權利要求1所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述定位夾具包括盛放硅晶片的盒體，盒體表面設有盒蓋，盒體側部設有溝形插槽，溝形插槽內插設有阻擋板，阻擋板表面固定連接于第一滑塊內側。

3.根據權利要求1所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述吸附夾具包括固定于第二滑塊表面截面成L形的陶瓷基底，陶瓷基底前端上、下表面均設有多個密集微孔，陶瓷基底后端通過螺釘與第二滑塊固定連接，密集微孔內填充有用于吸附硅晶片的硅膠。

4.根據權利要求1所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述控制箱內側設有用以顯示測試結果的數據顯示屏。

5.根據權利要求4所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述控制箱內部設有用于傳輸數據的RS232C通信數據接口以及電源。

6.根據權利要求1所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述多功能顯微鏡底部設有快換目鏡機構，快換目鏡機構包括設于顯微鏡底部的旋轉盤，旋轉盤均布有多個目鏡。

7.根據權利要求6所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述多功能顯微鏡內設有光柵尺，光柵尺包括設于焦面板上的米字線和虛線。

8.根據權利要求7所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述多功能顯微鏡內還設有焦點追蹤器，使顯微鏡始終對準焦點。

9.根據權利要求1所述的多工位移動型顯微鏡檢測設備，其特征在于：所述橋臂底部設有用于感應硅晶片的感應器。