[發明專利]一種磁性線材的磁疇測量裝置

在審

• 申請號: 201810418186.0
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN108414451A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 張向平;方曉華;趙永建
• 申請（專利權）人: 金華職業技術學院
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01R33/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種磁性線材的磁疇測量裝置，主要包括激光器、濾光片I、棱鏡偏振器、白光源、分束器I、分束器II、1/2波片、1/4波片、分束器III、照像機、非球面鏡I、濾光片II、沃拉斯頓棱鏡、光電探測器I、光電探測器II、位移臺、物鏡、非球面鏡II、樣品、樣品管、拾波線圈組、磁體、前置放大器、示波器、計算機，xyz為空間直角坐標系，zx為水平面，xy平面與水平面垂直，所述激光器的波長在400納米到800納米范圍可調，所述激光器、濾光片I、棱鏡偏振器、分束器I、分束器II、物鏡、非球面鏡II、樣品組成入射光路，所述樣品、非球面鏡II、物鏡、分束器II、1/2波片、1/4波片、分束器III、沃拉斯頓棱鏡、光電探測器I、光電探測器II組成反射光路，所述白光源、分束器I、分束器II、物鏡、非球面鏡II、樣品、1/2波片、1/4波片、分束器III、濾光片II、非球面鏡I、照像機組成照明光路，使得能夠通過照像機觀察激光器發出的激光束在樣品表面的光點位置，所述拾波線圈組由一對拾波線圈組成且通過電纜與前置放大器連接，前置放大器、示波器、計算機之間依次電纜連接，光電探測器I、光電探測器II均分別電纜連接計算機，其特征是：將激光器發射的激光的偏振角設置為45度，當棱鏡偏振器的偏振角設置為0度，則光束為S偏振，當棱鏡偏振器的偏振角設置為90度，則光束為P偏振，所述1/2波片可旋轉，用于補償裝置光路中的偏振畸變，其角度設置條件是，使得在非磁性樣品表面的反射光通過1/2波片后的S偏振與P偏振的比例為1∶2，所述1/4波片能夠測量克爾橢圓率，在測量克爾旋轉時再將1/4波片從光路中移除，光束的主要部分通過沃拉斯頓棱鏡后分成S偏振光束和P偏振光束，分別進入光電探測器I和光電探測器II，光電探測器I和光電探測器II的輸出信號分別輸入計算機，得到兩個信號的和V_sum以及兩個信號的差V_diff，從而得到克爾橢圓率物鏡固定在位移臺上且能夠在zx平面內移動，精度100nm，通過移動位移臺能夠改變光束在樣品表面的入射角，所述樣品管嵌套于兩個拾波線圈內且與拾波線圈共軸，所述樣品位于樣品管內且長度與樣品管長度一致。